Positionering med nanometerprecision i litografimaskiner

För att belysa enskilda komponenter på skivan flyttar de litografiska enheterna skivan till respektive position. Kapacitiva lägesgivare mäter färdvägen för att möjliggöra positionering med nanometerprecision.

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
Badvägen 14
21854 Klagshamn, Sweden
jakob.geisler@micro-epsilon.se
+46 856 473 380
+46 856 473 389