Placera kiselplattor med hjälp av interferometrar med vitt ljus

InterferoMETER IMS5600 med vitt ljus från Micro-Epsilon används för lägesövervakning av kiselplattor. Den mäter stegets XYZ-rörelser med extremt höga accelerationer. Det optiska mätsystemet med hög precision uppnår en upplösning inom nanometerområdet och säkerställer att plattan är positionerad till nanometernoggrannhet för exponering. Tack vare vakuumanpassade mäthuvuden kan mätsystemet användas i vakuum och är okänsligt för starka magnetfält.