Hoppa direkt till huvudnavigeringen Gå direkt till innehållet Hoppa till undernavigering

Bestämma positionen vid hantering av kiselplattor

När kiselplattor hanteras är exakt och repeterbar positionering avgörande. Vid inmatning av skivor inspekterar två optoCONTROL-lasermikrometrar diametern och bestämmer därmed den horisontella positionen. Tack vare hög mäthastighet och noggrannhet ger dessa mikrometrar tillförlitlig information om positionen. Beroende på positionen på de två mikrometerna i förhållande till varandra kan olika skivdiametrar detekteras.