Kapacitivt multi-kanalsystem för maximal upplösning
Kapacitiva avståndssensorer är konstruerade för mätuppgifter som kräver extremt hög precision. Det kapacitiva multi-kanal systemet capaNCDT 6500 är perfekt lämpad för tillförlitliga mätningar med upplösning under nanometer. Kontrollern erbjuder en frekvensrespons på upp till 7,8 kHz (digital, med upp till fyra kanaler) eller en bandbredd på 8,5 kHz. Förutom analog utgång finns även EtherCAT interface som tillval. EtherCAT gör det möjligt att överföra data i realtid, med höghastighets-integrering till existerande mätmiljö och synkronisering av två system. Inställningar och konfigurering av capaNCDT 6500 systemet görs enkelt via webbläsaren.
Detaljer
- Mätområde (mm): 0,05 | 0,2 | 0,5 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10
- Upplösning max. 0,0375nm
- Linjäritet max. 0,01µm
- Bandbredd 8,5 kHz (-3dB)
- Dataöverföring (digital output) 7.8kHz
- Analog utgång (spänning/ström)
- Ethernet, EtherCAT
- Modulär – upp till 8 kanaler
- Intern eller extern förförstärkare
- Användarvänlig inställning och konfigurering via webbläsare
Maximal upplösning
capaNCDT 6500 systemet är designat för mätuppgifter som kräver sub-nanometerupplösning. Dess styrkor har speciellt tydligt påvisats i positioneringstillämpningar inom halvledarindustrin samt i laboratorietillämpningar. Den modulära capaNCDT 6500 är designad för multi-kanal applikationer. Upp till 8 sensorer kan via förförstärkare anslutas till signalkonditioneringsenheten.
Flexibelt flerkanalssystem
Mätsystemet består av en kontrollerenhet med integrerad display samt en demodulator per sensor, vilka är sammanförda i ett rack. De båda kontroller-racken som är tillgängliga har plats för upp till 2 resp. 8 demodulatorer. Det går att välja en kraftfull demodulator som beroende på tillämpning drivs med integrerad eller externt placerad förförstärkare. Båda versionerna är kompatibla med alla sensormodeller från Micro-Epsilon.
Enkel att använda via webbinterface
Tack vare det användarvänliga webbinterfacet kan hela konfigurationsprocessen av kontroller och sensorer göras utan användning av ytterligare programvaror. Webbinterfacet nås via Ethernet och erbjuder inställnings- och konfigurationsfunktioner för filter, aritmetiska länkar och andra användbara parametrar som triggning, mätvärdeslagring och linjärisering.
Den kapacitiva kontrollern DT6530 erbjuder maximal upplösning och signalstabilitet för kapacitiv avståndsmätning. Kontrollern kan arbeta med upp till 8 kanaler och fungerar inte enbart för elektriskt ledande material utan även på isolatorer. Förutom analoga utgångar är kontrollern även utrustad med Ethernet. Kontrollern DT6530 är kompatibel med alla sensorer och kablar i capaNCDT-serien.
Nedladdningar
- Data sheet capaNCDT 6500 (pdf, 1.20 MB)
- Operating Instructions capaNCDT 6500 EtherCAT (pdf, 7.94 MB)
- CAD file 3D-model DT6530/C rack, STEP (zip, 5.20 MB)
- sensorTOOL V2.1.0 (exe, 17.85 MB)
- Firmware update DT6530: SW1.4o / FW1.2i / Web-Build 20618 (zip, 1.23 MB)
- Micro-Epsilon EtherCAT ESI file "IF1032" (zip, 37.43 KB)
- MEDAQLib V5.3.1 (zip, 22.86 MB)
Monteringsbygeln har konstruerats för dubbelsidig tjockleksmätning med kapacitiva sensorer och hjälper till att rikta in mätpunkterna mot varandra. Med hjälp av bygeln ligger sensorerna exakt på en axel så att mätpunkterna är anordnade så att de överlappar. På så sätt förhindras en förskjuten mätning och ett tillförlitligt mätresultat med maximal precision uppnås. Monteringsbygeln har plats för upp till 6 sensorer. Två sensorer bildar ett mätställe.
Detaljer
-
Flerspårig tjockleksmätning vid upp till 3 ställen samtidigt
-
Exakt mätning vid temperaturer på upp till 100 °C tack vare hög temperaturstabilitet
-
Vakuumduglig
-
Mycket kompakt konstruktion
-
Enkel integration och montering i efterhand i existerande anläggningar
-
Kompatibel med capaNCDT sensormodeller
-
Kalibreringsbar version möjliggör en hög precision i tjockleksmätningen