Vitljusinterferometrar med hög precision för beröringsfria avstånds- och tjockleksmätningar
De innovativa interferometrarna med vitt ljus från Micro-Epsilon sätter riktmärket för avstånds- och tjockleksmätningar med hög precision. Sensorerna möjliggör stabila mätresultat med subnanometerupplösning och erbjuder ett jämförelsevis stort mätområde och offsetavstånd. Interferometrarna finns i 3 serier: IMS5400-DS för industriella avståndsmätningar med hög precision, IMS5400-TH för exakta tjockleksmätningar och den vakuumanpassade IMS5600-DS för avståndsmätningar med pikometerupplösning.
Detaljer
- Exakt avståndsmätning med nanometernoggrannhet
- Exakta tjockleksmätningar oberoende av avstånd från sensorn
- Multi-peak avståndsmätning och tjockleksmätning av flera skikt
- Oöverträffad precision för industriella applikationer
- Bäst i klassen: Upplösning 30 pikometer (IMS5600)
- Hög signalstabilitet tack vare nya utvärderingsalgoritmer och aktiv temperaturkompensation
- Stort offset avstånd
- Enkel parameterinställning via webbgränssnitt
- Branschoptimerade sensorer med robust metallhölje och flexibla kablar
- Sensorer och kablar lämpliga för vakuum
Interferometer för industri och automation
Den industriella interferometern med vitt ljus består av en robust sensor, en mycket flexibel sensorkabel och en styrenhet i aluminiumhölje som kan monteras på en DIN-skena. Styrenheten har en aktiv temperaturreglering som kompenserar för förändringar i omgivningstemperaturen och därmed uppnår en enorm temperaturstabilitet. Tack vare sin robusta design kan interferometern också integreras i industriella miljöer. Kabellängder upp till 10 m möjliggör också spatial separation av sensor och styrenhet. För mätuppgifter i renrum och i vakuum finns vakuumanpassade sensorer, kablar och kabelgenomföringstillbehör.
Liten ljuspunkt upptäcker de minsta detaljerna och strukturerna
Dessa sensorer genererar en liten ljuspunkt över hela mätområdet. Ljusfläcksdiametern är bara 10 µm och möjliggör detektering av små detaljer såsom strukturer på halvledare och miniatyriserade elektroniska komponenter. Ljuspunkten visualiseras av en pilotlaser och underlättar sensorns inriktning.
Nya sensormodeller med olika format
Om interferometern ska integreras i påfrestande miljöer finns nya sensorer tillgängliga i olika format och med olika egenskaper. Hos IMP-DS0.5/90/VAC är strålgången vinklad 90° och medger installation även i låga utrymmen. Den nya miniatyrsensorn IMP-DS1/VAC är en av Micro-Epsilons minsta optiska sensorer. Men en diameter på 4 mm och integrerad kabel kan sensorn användas även i mycket trånga utrymmen. Sensorerna och kablarna kan användas även i renrum och i vakuum.
Patenterad pilotlaser för enkel sensorpositionering
Vitljus interferometrar använder infrarött ljus i det osynliga området (ca 840 nm våglängd), vilket innebär att mätpositionen inte kan ses. För att visualisera mätpositionen är Micro-Epsilons system utrustade med en pilotlaser som projicerar en ljuspunkt på mätpositionen. Dessutom använder pilotlasern en patenterad metod för att ge feedback gällande avståndet utöver mätpositionen. Om mätobjektet befinner sig på rätt avstånd och inom mätområdet avges ett konstant sken av pilotlasern. Om mätobjektet ligger utanför mätområdet blinkar pilotlasern.
Justerbar monteringsadapter för inriktning av sensor
För att uppnå maximal mätnoggrannhet måste interferometrarna vara så vinkelräta som möjligt mot mätobjektet. Med den justerbara monteringsadaptern kan sensorerna anpassas optimalt. Det är även möjligt att rikta in sensorn efter installationen i maskinen. Industriadaptern möjliggör förskjutning i x- och y-axlarna samt att givaren lutas mot mätobjektet.
Nyhet: Inställbar monteringsadapter för dubbelsidig tjockleksmätning
JMA-Thickness består av två inställbara monteringsadaptrar och hjälper till att rikta in sensorerna vid en dubbelsidig tjockleksmätning. Därmed kan mätpunkterna anordnas exakt överlappande i en optisk axel. Tack vare den här anordningen säkerställs en tillförlitlig tjockleksmätning med maximal precision. JMA-Thickness är perfekt för integration i maskiner och produktionsanläggningar. De förmonterade monteringsplattorna möjliggör en enkel och snabb installation.
Enkel användning via webbgränssnitt
Tack vare ett användarvänligt webbläsarinterface krävs ingen extra mjukvara för konfiguration av styrenhet och givare. Interfacet är tillgängligt via en Ethernetanslutning och möjliggör snabb och enkel justering av t. ex. medelvärde, mätfrekvens och förinställningar.
Gränssnitt och signalbehandlingsenheter
Moderna gränssnitt för integration i maskiner och system
Styrenheten erbjuder integrerade gränssnitt som Ethernet, EtherCAT och RS422 samt ytterligare pulsgivaranslutningar, analoga utgångar, synkroniseringsingångar och digitala I/O. Detta gör att interferometern kan integreras i alla styrsystem och produktionsprogram.
Applicationer
