Konfokal linjesensor för högprecisa och snabba 3D-skanningar
De nya confocalLINE-sensorerna möjliggör högprecisa skanningar med högsta punktdensitet och hög hastighet. De registrerar mycket varierande ytor tillförlitligt och levererar exakta 3D-data för krävande mätuppgifter inom halvledarproduktion, elektroniktillverkning och finmekanik. Tack vare integrerad SMART-utvärdering och moderna fältbussgränssnitt kan komplexa mät- och inspektionsuppgifter lösas direkt i sensorn – snabbt, stabilt och med hög precision.
Speciella egenskaper
- Högprecisa skanningar med 2 624 punkter per profil
- Mycket hög signalstabilitet på många olika ytor
- Mikrometerprecision för tillförlitlig detektering av de minsta detaljerna
- Kompakt sensordesign med integrerad databehandling
- 2D-profilmätning och 3D-geometrimätning
- Direkt utmatning av mätdata via fältbuss och Modbus (UDP/TCP)
Stort mätområde med högsta punkttäthet
De konfokal-kromatiska linjeskannrarna registrerar profiler med linjelängder på 7 mm längs X-axeln. Med 2 624 mätpunkter per profil genereras högupplösta 2D-profildata och precisa 3D-punktmoln – tillförlitligt och i stort sett oberoende av ytans beskaffenhet. Genom linjevis registrering kan fullständiga skanningar genereras avsevärt snabbare än med konventionell punktsensorteknik.
Högsta precision in i minsta detalj
Med 2,7 µm lateral upplösning och 200 nm upplösning i Z registrerar confocalLINE de finaste strukturerna och höjdskillnaderna med högsta noggrannhet. Tack vare den höga precisionen kan även de minsta mätobjekten detekteras och utvärderas tillförlitligt – idealiskt för mätuppgifter med de högsta noggrannhetskraven.
Den minsta skannern i sin klass: Kompakt utförande med integrerad SMART-utvärdering
confocalLINE CLI8500 sätter nya standarder med sitt kompakta utförande. Eftersom sensorn varken kräver extern kontroller eller IPC kan den enkelt integreras även vid begränsat installationsutrymme och utan styrskåp. I SMART-versionen körs mätprogrammen direkt i sensorn och mätresultaten matas ut till styrsystemet.
Innovativ teknik för mätningar med hög precision
confocalLINE-sensorerna använder den konfokal-kromatiska mätprincipen, där vitt ljus delas upp i sina spektralfärger genom en speciell optik och projiceras linjeformigt på mätobjektet. Varje våglängd i spektrumet motsvarar ett definierat avstånd. Utifrån det reflekterade ljuset bestämmer sensorn avståndet till ytan för varje mätpunkt. 2 624 mätpunkter per linje ger en högupplöst höjdprofil. Genom att rada upp profilerna genereras 3D-punktmoln. Därmed kan yttopografier, kanter, steg och spalter registreras med högsta precision och mätfrekvens och utvärderas direkt i sensorn. För transparenta och halvtransparenta material kan man dessutom registrera flera gränsytor och därigenom till exempel bestämma materialtjocklekar.
Kraftfull mjukvara för parametrering och tillämpningslösning
Programvaran 3DInspect möjliggör enkel parametrering liksom bekvämt skapande av 2D- och 3D-mätprogram. Tack vare det intuitiva användargränssnittet kan mätsekvenser konfigureras snabbt och effektivt. Via det integrerade automatiseringsgränssnittet sparas mätprogrammen som har skapats direkt på skannern för SMART-drift. Därigenom kan mätningar utföras automatiserat och utan ytterligare styrenheter.
Enkel parametrering av sensorerna
- Inriktning och filtrering av punktmolnet
- Intuitiv detektering och urval av relevanta områden
- Valid3D: Äkta 3D-punktmoln i stället för 2,5D-utvärdering
Kraftfulla program för autonom SMART-drift
- Mer än 80 mätprogram för beräkning av de önskade mätvärdena
- Kombination av flera program för komplexa mätuppgifter
- Överföring av mätprogrammen till skannern för autonom SMART-drift
Enkel integration tack vare många gränssnitt
Användningsområden
