Högprecisionsinspektion och mätning av högreflekterande ytor
reflectCONTROL-sensorerna registrerar och inspekterar högreflekterande och delvis transparenta ytor med hög precision. Beroende på sensormodell möjliggör de högupplösta 2D-inspektioner för detektering av defekter eller heltäckande 3D-mätningar för precis kontroll av form och geometri. Fasmätande deflektometri synliggör tillförlitligt även de minsta defekterna och formavvikelserna.
Tillämpningarna sträcker sig från industriell ytinspektion till automatiserad mätning av wafers med en diameter på upp till 300 mm. Därmed kan krävande inspektionsuppgifter integreras effektivt, reproducerbart och beröringsfritt i produktionsprocessen.
Precis 2D- och 3D-ytinspektion för krävande industriella mät- och kontrolluppgifter.
Speciella egenskaper
- Beröringsfri 2D- och 3D-inspektion av högreflekterande ytor
- Högupplöst detektering av defekter och precis formmätning
- Heltäckande 3D-registrering av komponenter och wafer upp till 300 mm
- Korta mättider för effektiv kvalitetskontroll
- Hög mätnoggrannhet för krävande ytinspektioner
- Flexibel integrering i automatiserade inspektions- och produktionsprocesser
- Kraftfull 3DInspect-programvara
Beröringsfri 2D- och 3D-mätning med deflektometri
Mätobjektet belyses beröringsfritt med definierade randmönster. Den högreflekterande ytan speglar dessa mönster i två kameror som registrerar även de minsta förändringarna och deformationerna i ränderna.
Utifrån de registrerade bildsekvenserna genererar sensorn högupplösta 2D-fasbilder. Dessa möjliggör tillförlitlig detektering och bedömning av ytdefekter. På de 3D-kompatibla reflectCONTROL-modellerna används fasinformationen även för att beräkna ett tredimensionellt punktmoln respektive en yttopografi.
Beroende på sensormodell kan mätdata bearbetas vidare för automatiserad detektering av defekter, ytinspektion och 3D-formmätning.
NYHET: reflectCONTROL RCS3500-300 3D-Wafer-Warpage
Sensor för 3D-mätning av wafer-warpage och planaritet med ett mätområde på 300 mm
Hela wafern registreras i en enda bildtagning – utan stitchingfel och optimerat för speglande waferytor. För snabb och precis 3D-mätning av warpage och planaritet, tillförlitligt kollisionsskydd i efterföljande processteg samt användning inom nearline- och inline-inspektionsprocesser.
Noggrann ytinspektion med deflektometrisensorer
Deflektometrisensorer från Micro-Epsilon används för högprecisionsinspektion av speglande och reflekterande ytor. De registrerar även de minsta formavvikelserna, vågigheterna och lokala ytdefekterna beröringsfritt och med hög upplösning. Typiska tillämpningar finns bland annat inom halvledarindustrin samt för optiska komponenter, glasytor, displayer och lackerade eller polerade komponenter.
Sensorerna möjliggör både kvalitetskontroll av enskilda komponenter och automatiserad inline-inspektion i produktionen. På så sätt kan fel upptäckas tidigt, kassation och omarbetning minskas och en jämnt hög produktkvalitet säkerställas.
3DInspect – kraftfull programvara för parametrering och utvärdering
Intuitivt användargränssnitt
Enkel parametrering liksom bekvämt skapande av 3D-mätprogram möjliggör snabb och effektiv konfiguration av mätsekvenser.
Inline-drift
Det integrerade automatiseringsgränssnittet lagrar mätprogram och möjliggör automatiserade mätningar utan ytterligare styrenheter.
Loggning och lagring
av 3D-data direkt i programvaran
En programvara för alla 3D-sensorer från Micro-Epsilon
Parametrering
- Inställning av optimala sensorparametrar för den aktuella mätuppgiften
- Inläsning av parameteruppsättningar
- Val av mätområde
Dataförbehandling
- Anpassning av punktmolnet före utvärderingen, t.ex. för reproducerbar positionering av punktmolnet.
- Förfina eller tillämpa filter för att lyfta fram egenskaper, ta bort irrelevanta punkter eller skapa snitt.
Utvärdering
- Mer än 80 mätprogram för beräkning av önskade mätvärden
- Utvärdering och mätning av tidigare genererade snitt
- Kombination av flera program för komplexa mätuppgifter
Utmatning av mätresultat
- Direkt bedömning av ett mätvärde som resultat (OK/NOK-värde) Automatiserad utmatning av mätvärden eller bedömda resultat (kräver licensen ”Automatisering”)
- Kopplingssignaler och fältbussutgång
