Mycket exakta sensorlösningar för halvledarindustrin
Produktionslinjer inom halvledarindustrin måste utrustas med de senaste sensorerna för att kunna leva upp till allt strängare kvalitets- och kostnadskrav. Detta innebär att noggrant detektera de minsta rörelserna, att på ett tillförlitligt sätt identifiera när toleranserna överskrids till och att övervaka processer som är på gränsen till vad som är fysiskt möjliga. Sensorteknologi från Micro-Epsilon har använts framgångsrikt i halvledarindustrin i många år, med den rätta lösningen för alla mätuppgifter oavsett om det gäller komplexa front-end-processer, back-end-applikationer för waferfab-automation.
Varför Micro-Epsilon?
- Mer precision och innovation – Tillverkad i Tyskland
- Rådgivning, utveckling & produktion från en enda leverantör
- Tillsammans med våra kunder: kvalitet och problemlösningsexpertis inom serie & OEM
- Djupgående tekniska och praktiska kunskaper inom området halvledarproduktion
Precisionssensorer för dynamisk maskinövervakning och styrning
Optimerade sensorer från Micro-Epsilon levererar exakta mätningar inom halvledarteknik. De används i applikationer med hög acceleration, starka magnetfält och ultrahöga vakuum. Sensorerna är föremål för de mest rigorösa kvalitetsstandarder och övervakar bland annat orienteringen av fotomasker och linssystem, positioneringen under waferhantering och korrekt position av speglar och optiska element.
Våra sensorlösningar för halvledarindustrin
Vi erbjuder ett omfattande utbud av högpresterande sensorer och mätenheter för en mängd olika processsteg inom halvledartillverkning. Vi utvecklar och producerar anpassade sensor- och ställdonslösningar för serietillämpningar och har rätt tillverkningsmetoder och kapacitet så att du kan använda sensorerna även i utmanande miljöer.
Moderna tillverkningsmetoder för mycket exakta lägesgivare
På grund av höga krav inom halvledartillverkning genomgår alla sensorer och system från Micro-Epsilon rigorösa tillverknings- och testprocesser. Det handlar bland annat om val och placering av elektroniken, det mekaniska tillverkningsförfarandet och speciell processteknik. Utöver det används applikationsspecifika sensormaterial för att uppfylla de högsta kvalitetskraven.
- USP-laserteknik
- Vakuumlödning vid hög temperatur
- Precisionstillverkning
Sensordesign anpassad efter individuella kundkrav
- Low outgassing
- Vacuum suitability
- Cleaning options
- UHV-compliant technologies
- Connection technologies
- Labeling and packaging suitable for semiconductors
- High quality assurance standards
Mer precision för halvledare
Micro-Epsilon erbjuder den rätta lösningen för olika applikationer inom halvledarindustrin – från exakt maskinpositionering till waferinspektion och topografimätningar. Sensorerna används i både front-end- och back-end-processer och utmärker sig tack vare sin överlägsna precision och tillförlitlighet.
Du kan hitta applikationsexempel från halvledarindustrin här
