Nytt
Kontakt
Nedladdningar

interferoMETER IMS5400-DS

Absoluta avståndsmätningar med maximal precision

Interferometer med vitt ljus för exakt avståndsmätning med nanometernoggrannhet

Nya interferometern IMS5400-DS med vitt ljus möjliggör nya användningsområden inom industriell avståndsmätning. Styrenheten har en intelligent utvärderingsfunktion och möjliggör absoluta mätningar med nanometernoggrannhet på ett relativt stort offsetavstånd. Jämfört med andra absoluta optiska mätsystem erbjuder IMS5400-DS en oöverträffad kombination av noggrannhet, mätområde och offsetavstånd.

logo

Detaljer

  1. Nanometerexakta, absoluta avståndsmätningar, lämpliga för stegprofiler
  2. Multi-peak avståndsmätning på transparenta objekt
  3. Kompakta och robusta sensorer med stort offsetavstånd
  4. Mäthastighet upp till 6 kHz för höghastighetsmätningar
  5. Robust styrenhet med passiv kylning
  6. Enkel konfiguration via webbgränssnitt
[]
Kontakt
MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
kontakt formulär
Georgios Mousiadis
kontakt formulär
Rickard Edvardsson
kontakt formulär
Jakob Geisler
kontakt formulär
Din begäran om: {product}
Please enter the result of the calculation below. This will avoid spam.
captcha
* Obligatoriska fält
Vi behandlar dina uppgifter konfidentiellt. Läs vår integritetspolicy.

Exakt avståndsmätning med upplösning i nanometer

IMS5400-DS används för högprecisionsmätning av position och avstånd. Till skillnad från konventionella interferometrar möjliggör IMS5400-DS också stabil mätning av stegprofiler. Tack vare den absoluta mätningen utförs skanning av steg med hög signalstabilitet och precision. Vid mätning på rörliga föremål kan skillnader i höjd, steg och fördjupningar påvisas på ett tillförlitligt sätt.

Multi-peak avståndsmätning

Med multi-peak avståndsmätning på transparenta objekt utvärderas upp till 14 avståndsvärden samtidigt. Till exempel kan avståndet mellan glas och en bärplatta bestämmas. Dessutom kan styrenheten beräkna tjockleken på glas baserat på avståndsvärdena.

Idealisk för industrimiljöer

Robusta sensorer och en styrenhet i metallhus gör systemet idealiskt för integration i produktionslinjer. Styrenheten kan installeras i styrskåpet genom montering på DIN-skena och ger mycket stabila mätresultat tack vare aktiv temperaturkompensation och passiv kylning. Dessa kompakta sensorer är extremt platsbesparande och kan också integreras i trånga utrymmen. Mycket flexibla fiberoptiska kablar finns i längder upp till 10 m och möjliggör avstånd mellan sensor och styrenhet. Driftsättning och parametrinställning utförs enkelt via webbgränssnittet och kräver ingen mjukvaruinstallation.

Liten ljuspunkt för de minsta detaljerna och strukturerna

Sensorerna genererar en liten ljuspunkt över hela mätområdet. Ljuspunktsdiametern är bara 10 µm och möjliggör detektering av små detaljer såsom strukturer på halvledare och miniatyriserade elektroniska komponenter.

Mätning av flera ytor

Den interferometriska mätmetoden möjliggör mätningar på många ytor. Detta möjliggör avståndsmätningar med hög precision på reflekterande metaller, plast och glas.

Ett stort antal modeller för krävande mätuppgifter

Model Mätområde /
Start av mätområde
Linjäritet

Antal mätbara lager

  

Användningsområden

IMS5400-DS19 2,1 mm / ca 19 mm ±50 nm - Industriella avståndsmätningar, t.ex. inom precisionstillverkning
IMS5400-DS19/VAC Exakta positioneringsuppgifter och avståndsmätningar i renrumsmiljöer och vakuum t.ex. vid displayproduktion för maskpositionering
IMS5400MP-DS19 Avståndsmätning:
2,1 mm / ca 19 mm
Tjockleksmätning:
0,01 ... 1,3 mm (för BK7, n=1,5) / ca 19 mm
±50 nm för det första avståndet
>±150 nm för varje ytterligare avstånd
Upp till 13 lager    Industriell avstånds- och tjockleksmätning t.ex. vid planglasproduktion
IMS5400MP-DS19/VAC Exakt avstånds- och tjockleksmätning i renrumsmiljöer och vakuum, t.ex. vid displayproduktion för avstånds- och mellanrumsmätning

Gränssnitt och signalbehandlingsenheter

Moderna gränssnitt för integration i maskiner och system

Styrenheten erbjuder integrerade gränssnitt som Ethernet, EtherCAT och RS422 samt ytterligare pulsgivaranslutningar, analoga utgångar, synkroniseringsingångar och digitala I/O. Detta gör att interferometern kan integreras i alla styrsystem och produktionsprogram.