Placera kiselplattor med kapacitiva sensorer

Kapacitiva sensorer används för finpositioneringsuppgifter vid tillverkning av kiselplattorn. Sensorerna mäter position vid olika punkter vilket är särskilt användbart för finjustering. Tack vare sin triaxiella design är sensorerna okänsliga för elektromagnetiska fält och uppnår en upplösning inom nanometerområdet. Dessutom erbjuder sensorerna extremt hög långtidsstabilitet. Sensorerna för beröringsfri mätning är utformade för vakuummiljöer och kan också användas i UHV-området.