Konfokala sensorer för avstånds- och tjockleksmätningar med särskilda krav

confocal IFS 2406-serien utmärker sig genom sin kompakta design och höga mätprecision. Förutom avståndsmätning mot reflektiva eller transparenta ytor kan de även användas för ensidig tjockleksmätning av transparent film, plattor eller skikt. IFS2406-2,5 sensorerna är mycket mångsidiga tack vare att de finns både för axiell som radiell mätriktning samt är vacuum kompatibla.

confocalDT IFS2406

• Mätområde (mm): 2,5//3//10
• Linjäritet max. 0,75 µm
• Upplösning max. 0,024 µm
• Avstånds- och ensidig tjockleksmätning
• Liten ljuspunkt
• Vacuum kompatibel

confocalDT IFS2406-3/VAC(001)

• Mätområde (mm): 3
• Linearitet max 1,5 µm
• Upplösning max 0,05 µm
• Mätning av avstånd samt ensidig tjockleksmätning
• Liten mätpunkt
• Anpassad för vakuum