Högprecisions interferometer med vitt ljus för beröringsfria avstånds- och tjockleksmätningar.

interferoMETER IMS5400-DS

Micro-Epsilons innovativa interferometrar med vitt ljus sätter en ny standard för avstånds- och tjockleksmätningar med hög precision. Dessa givare möjliggör stabila mätresultat med sub-nanometerupplösning och erbjuder ett relativt stort mätområde och offsetavstånd. Interferometrarna finns i tre serier: IMS5400-DS för industriella avståndsmätningar med hög precision, IMS5400-TH för exakta tjockleksmätningar och vakuumanpassade IMS5600-DS för avståndsmätningar med picometerupplösning.

Detaljer
  • Exakt avståndsmätning med nanometernoggrannhet
  • Avståndsoberoende tjockleksmätning
  • Bäst i sin klass: upplösning < 30 picometer (IMS5600-DS)
  • Hög signalstabilitet tack vare nya utvärderingsalgoritmer och aktiv temperaturkompensation
  • Stort offsetavstånd
  • Enkel parameterinställning via webbgränssnitt
  • Industrioptimerade sensorer med robust metallhölje och flexibla kablar
  • Givare och kablar lämpliga för vakuum

Interferometer för industri och automation

Den industriella interferometern med vitt ljus består av en robust sensor, en mycket flexibel sensorkabel och en styrenhet i aluminiumhölje som kan monteras på en DIN-skena. Styrenheten har en aktiv temperaturreglering som kompenserar för förändringar i omgivningstemperaturen och därmed uppnår en enorm temperaturstabilitet. Tack vare sin robusta design kan interferometern också integreras i industriella miljöer. Kabellängder upp till 10 m möjliggör också spatial separation av sensor och styrenhet. För mätuppgifter i renrum och i vakuum finns vakuumanpassade sensorer, kablar och kabelgenomföringstillbehör.

Adjustable mounting adapter for sensor alignment

To achieve maximum accuracy, the confocal sensors must be aligned as perpendicular as possible to the measuring object. The adjustable mounting adapter is used to optimally align all confocalDT sensors to the target. You can also align the sensor after the installation in the machine. The industrial adapter allows the displacement in the x- and y-axes as well as tilting the sensor to the measuring object.

Liten ljuspunkt upptäcker de minsta detaljerna och strukturerna

Dessa sensorer genererar en liten ljuspunkt över hela mätområdet. Ljusfläcksdiametern är bara 10 µm och möjliggör detektering av små detaljer såsom strukturer på halvledare och miniatyriserade elektroniska komponenter. Ljuspunkten visualiseras av en pilotlaser och underlättar sensorns inriktning.

Patented pilot laser for easy sensor positioning

White light interferometers use infrared light in the non-visible range (approx. 840 nm wavelength), which means that the measurement position cannot be seen. To visualize the measuring position, Micro-Epsilon systems are equipped with a pilot laser which projects a light spot onto the measuring position. In addition, the pilot laser uses a patented method to provide feedback on the distance in addition to the measurement position. If the measuring object is at the correct distance and within the measuring range, a constant glow is emitted by the pilot laser. If the measuring object is outside the measuring range, the pilot laser flashes.

Enkel användning via webbgränssnitt

Tack vare ett användarvänligt webbläsarinterface krävs ingen extra mjukvara för konfiguration av styrenhet och givare. Interfacet är tillgängligt via en Ethernetanslutning och möjliggör snabb och enkel justering av t. ex. medelvärde, mätfrekvens och förinställningar.

Moderna gränssnitt för integration i maskiner och system

Styrenheten erbjuder integrerade gränssnitt som Ethernet, EtherCAT och RS422 samt ytterligare pulsgivaranslutningar, analoga utgångar, synkroniseringsingångar och digitala I/O. Detta gör att interferometern kan integreras i alla styrsystem och produktionsprogram.

Analog RS422 Ethernet Ethercat Profinet EthernetIP
Applikationer

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
jakob.geisler@micro-epsilon.se
+46 8 564 733 80