Vitljusinterferometrar med hög precision för beröringsfria avstånds- och tjockleksmätningar

interferoMETER IMS5400-DS

De innovativa interferometrarna med vitt ljus från Micro-Epsilon sätter riktmärket för avstånds- och tjockleksmätningar med hög precision. Sensorerna möjliggör stabila mätresultat med subnanometerupplösning och erbjuder ett jämförelsevis stort mätområde och offsetavstånd. Interferometrarna finns i 3 serier: IMS5400-DS för industriella avståndsmätningar med hög precision, IMS5400-TH för exakta tjockleksmätningar och den vakuumanpassade IMS5600-DS för avståndsmätningar med pikometerupplösning.&lt ;/p>

Detaljer
  • Exakt avståndsmätning med nanometernoggrannhet
  • Exakta tjockleksmätningar oberoende av avstånd från sensorn
  • Multi-peak avståndsmätning och tjockleksmätning av flera skikt
  • Oöverträffad precision för industriella applikationer
  • Bäst i klassen: Upplösning 30 pikometer (IMS5600)
  • Hög signalstabilitet tack vare nya utvärderingsalgoritmer och aktiv temperaturkompensation
  • Stort offset avstånd
  • Enkel parameterinställning via webbgränssnitt
  • Branschoptimerade sensorer med robust metallhölje och flexibla kablar
  • Sensorer och kablar lämpliga för vakuum

Interferometer för industri och automation

Den industriella interferometern med vitt ljus består av en robust sensor, en mycket flexibel sensorkabel och en styrenhet i aluminiumhölje som kan monteras på en DIN-skena. Styrenheten har en aktiv temperaturreglering som kompenserar för förändringar i omgivningstemperaturen och därmed uppnår en enorm temperaturstabilitet. Tack vare sin robusta design kan interferometern också integreras i industriella miljöer. Kabellängder upp till 10 m möjliggör också spatial separation av sensor och styrenhet. För mätuppgifter i renrum och i vakuum finns vakuumanpassade sensorer, kablar och kabelgenomföringstillbehör.

Liten ljuspunkt upptäcker de minsta detaljerna och strukturerna

Dessa sensorer genererar en liten ljuspunkt över hela mätområdet. Ljusfläcksdiametern är bara 10 µm och möjliggör detektering av små detaljer såsom strukturer på halvledare och miniatyriserade elektroniska komponenter. Ljuspunkten visualiseras av en pilotlaser och underlättar sensorns inriktning.

Patenterad pilotlaser för enkel sensorpositionering

Vitljus interferometrar använder infrarött ljus i det osynliga området (ca 840 nm våglängd), vilket innebär att mätpositionen inte kan ses. För att visualisera mätpositionen är Micro-Epsilons system utrustade med en pilotlaser som projicerar en ljuspunkt på mätpositionen. Dessutom använder pilotlasern en patenterad metod för att ge feedback gällande avståndet utöver mätpositionen. Om mätobjektet befinner sig på rätt avstånd och inom mätområdet avges ett konstant sken av pilotlasern. Om mätobjektet ligger utanför mätområdet blinkar pilotlasern.

Justerbar monteringsadapter för inriktning av sensor

För att uppnå maximal mätnoggrannhet måste interferometrarna vara så vinkelräta som möjligt mot mätobjektet. Med den justerbara monteringsadaptern kan sensorerna anpassas optimalt. Det är även möjligt att rikta in sensorn efter installationen i maskinen. Industriadaptern möjliggör förskjutning i x- och y-axlarna samt att givaren lutas mot mätobjektet.

Enkel användning via webbgränssnitt

Tack vare ett användarvänligt webbläsarinterface krävs ingen extra mjukvara för konfiguration av styrenhet och givare. Interfacet är tillgängligt via en Ethernetanslutning och möjliggör snabb och enkel justering av t. ex. medelvärde, mätfrekvens och förinställningar.

Moderna gränssnitt för integration i maskiner och system

Styrenheten erbjuder integrerade gränssnitt som Ethernet, EtherCAT och RS422 samt ytterligare pulsgivaranslutningar, analoga utgångar, synkroniseringsingångar och digitala I/O. Detta gör att interferometern kan integreras i alla styrsystem och produktionsprogram.

Analog RS422 Ethernet Ethercat Profinet EthernetIP
Applikationer

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
jakob.geisler@micro-epsilon.se
+46 8 564 733 80