Interferometer med vitt ljus för stabil tjockleksmätning med submikronnoggrannhet

Tjockleksmätning med hög precision på tunna glas och filmer
interferoMETER IMS5400-TH
Tjockleksmätning med hög precision på tunna glas och filmer
Nytt:

Den nya IMS5400-TH interferometern med vitt ljus erbjuder nya möjligheter inom industriell tjockleksmätning. Styrenheten erbjuder en intelligent utvärderingsfunktion och tjockleksmätning med högsta precision på transparenta föremål.

Detaljer
  • Exakta tjockleksmätningar med nanometernoggrannhet även med olika avstånd och vibrerande mätobjekt
  • Stabil mätning från stort avstånd, även av antireflexbelagda mätobjekt
  • Industrioptimerade sensorer med robust metallhölje och flexibla kablar
  • Mätfrekvens upp till 6 kHz för höghastighetsmätningar
  • Enkel konfiguration via webbgränssnitt

Stabil tjockleksmätning med varierande mätavstånd

IMS5400-TH interferometer med vitt ljus används för mycket noggranna tjockleksmätningar från ett relativt stort avstånd. En avgörande fördel här är att exakta, avståndsoberoende mätningar kan utföras med nanometerprecision även på rörliga föremål. Det stora mätområdet möjliggör mätning av tunna lager, plattglas och filmer. Eftersom interferometern arbetar med en SLED nära det infraröda området är det också möjligt att mäta tjocklek på glas med antireflexbehandlad yta.

Mätområden för tjocklek<br/>       Luftspaltsmätning (med brytningsindex ~1) 50 µm till 2,1 mm<br/>      Mätning av glastjocklek (med brytningsindex ~1,5) 35 µm till 1,4 mm
Mätområden för tjocklek
Luftspaltsmätning (med brytningsindex ~1) 50 µm till 2,1 mm
Mätning av glastjocklek (med brytningsindex ~1,5) 35 µm till 1,4 mm

Multi-layer thickness measurement

With the multi-peak controller variant, several signal peaks can be evaluated simultaneously. This allows multi-layer thickness measurement of transparent objects and laminated glass. The controller outputs the thickness values with the highest stability regardless of their position.

Idealisk för industriella miljöer

Robusta sensorer och en styrenhet i metallhus gör systemet idealiskt för integration i produktionslinjer. Styrenheten kan installeras i styrskåpet genom montering på DIN-skena och ger mycket stabila mätresultat tack vare aktiv temperaturkompensation och passiv kylning. Dessa kompakta sensorer är extremt platsbesparande och kan integreras i trånga utrymmen samt har mycket flexibla fiberoptiska kablar. Kablar i längder upp till 10 m möjliggör avstånd mellan sensor och styrenhet. Sensorn kan justeras enkelt och snabbt med den integrerade pilotlasern. Driftsättning och parametrinställning utförs enkelt via webbgränssnittet och kräver ingen mjukvaruinstallation.

Numerous models for demanding measurement tasks

ModelMeasuring range /
Start of measuring range
LinearityNumber of measurable layers
Fields of application
IMS5400-TH450.035 ... 1.5 mm (for BK7, n=1.5) /
approx. 41.5 mm with an operating range of approx. 7 mm
±100 nm1 layerIndustrial inline thickness measurement
e.g. in flat glass production of single-layer glass
IMS5400-TH45/VACInline thickness measurements in clean room environments and vacuum e.g. in display production for gap measurement in vacuum
IMS5400MP-TH45±100 nmUp to 5 layersIndustrial inline multi-layer measurement
e.g. in flat glass production of multi-layer glasses
IMS5400MP-TH45/VACInline multi-layer measurements in clean room environments e.g. in display production for multi-layer measurement in vacuum
IMS5400-TH700.035 ... 1.5 mm (for BK7, n=1.5) /
approx. 68 mm with an operating range of approx. 4.2 mm
±200 nm1 layerIndustrial inline thickness measurement
e.g. in film production of single-layer films
IMS5400MP-TH70±200 nmUp to 5 layersIndustrial inline multi-layer measurement
e.g. in film production of multi-layer films

Moderna gränssnitt för integration i maskiner och system

Styrenheten erbjuder integrerade gränssnitt som Ethernet, EtherCAT och RS422 samt ytterligare pulsgivaranslutningar, analoga utgångar, synkroniseringsingångar och digitala I/O. Detta gör att interferometern kan integreras i alla styrsystem och produktionsprogram.

Analog RS422 Ethernet Ethercat Profinet EthernetIP

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
jakob.geisler@micro-epsilon.se
+46 8 564 733 80