Vitljusinterferometer med submikron noggrannhet för stabil tjockleksmätning
Nya vitljusinterferometern IMS5400-TH möjliggör nýa användningsområden inom industriell tjockleksmätning. Styrenheten erbjuder en intelligent utvärderingsfunktion och möjliggör tjockleksmätning med högsta precision på transparenta föremål.
- Nanometerexakt tjockleksmätning av ett eller flera skikt även vid varierande avstånd och på vibrerande mätobjekt
- Stabil mätning från ett stort avstånd, även på antireflexbelagda mätobjekt
- Branschoptimerade sensorer med robust metallhölje och flexibla kablar
- Mäthastighet upp till 6 kHz för höghastighetsmätningar
- Enkel konfiguration via webbgränssnitt
Stabil tjockleksmätning med varierande mätavstånd
IMS5400-TH interferometer med vitt ljus används för mycket noggranna tjockleksmätningar från ett relativt stort avstånd. En avgörande fördel här är att exakta, avståndsoberoende mätningar kan utföras med nanometerprecision även på rörliga föremål. Det stora mätområdet möjliggör mätning av tunna lager, plattglas och filmer. Eftersom interferometern arbetar med en SLED nära det infraröda området är det också möjligt att mäta tjocklek på glas med antireflexbehandlad yta.
Luftspaltsmätning (med brytningsindex ~1) 50 µm till 2,1 mm
Mätning av glastjocklek (med brytningsindex ~1,5) 35 µm till 1,4 mm
Mätning av tjocklek i flera lager
Med multi-peak-kontrollern kan flera signaltoppar utvärderas samtidigt. Detta möjliggör mätning av tjocklek i flera lager på transparenta föremål och laminerat glas. Regulatorn matar ut tjockleksvärdena med högsta stabilitet oavsett position.
Idealisk för industriella miljöer
Robusta sensorer och en styrenhet i metallhus gör systemet idealiskt för integration i produktionslinjer. Styrenheten kan installeras i styrskåpet genom montering på DIN-skena och ger mycket stabila mätresultat tack vare aktiv temperaturkompensation och passiv kylning. Dessa kompakta sensorer är extremt platsbesparande och kan integreras i trånga utrymmen samt har mycket flexibla fiberoptiska kablar. Kablar i längder upp till 10 m möjliggör avstånd mellan sensor och styrenhet. Sensorn kan justeras enkelt och snabbt med den integrerade pilotlasern. Driftsättning och parametrinställning utförs enkelt via webbgränssnittet och kräver ingen mjukvaruinstallation.
Ett stort antal modeller för krävande mätuppgifter
| Model | Mätområde / Start av mätområde |
Linjäritet | Antal mätbara lager | Användningsområden |
| IMS5400-TH45 | 0.035 ... 1.5 mm (for BK7, n=1.5) / approx. 41.5 mm with an operating range of approx. 7 mm |
±100 nm | 1 lager | Industriell tjockleksmätning inline t.ex. vid planglastillverkning av enskiktsglas |
| IMS5400-TH45/VAC | Inline tjockleksmätningar i renrumsmiljöer och vakuum t.ex. i displayproduktion för mellanrumsmätning i vakuum | |||
| IMS5400MP-TH45 | ±100 nm | Upp till 5 lager | Industriell flerskiktsmätning inline t.ex. i planglasproduktion av flerskiktsglas |
|
| IMS5400MP-TH45/VAC | Flerskiktsmätningar i renrumsmiljöer t.ex. i displayproduktion för flerskiktsmätning i vakuum | |||
| IMS5400-TH70 | 0,035 ... 1,5 mm (för BK7, n=1,5) / ca. 68 mm med ett arbetsområde på ca. 4,2 mm |
±200 nm | 1 lager | Industriell tjockleksmätning inline t.ex. vid filmproduktion av enskiktsfilmer |
| IMS5400MP-TH70 | ±200 nm | Upp till 5 lager | Industriell flerskiktsmätning inline t.ex. i filmproduktion av flerskiktsfilmer |
Moderna gränssnitt för integration i maskiner och system
Styrenheten erbjuder integrerade gränssnitt som Ethernet, EtherCAT och RS422 samt ytterligare pulsgivaranslutningar, analoga utgångar, synkroniseringsingångar och digitala I/O. Detta gör att interferometern kan integreras i alla styrsystem och produktionsprogram.
 |
 |
 |
 |
 |
 |
