Interferometer med vitt ljus för stabil tjockleksmätning med submikronnoggrannhet
Den nya IMS5400-TH interferometern med vitt ljus erbjuder nya möjligheter inom industriell tjockleksmätning. Styrenheten erbjuder en intelligent utvärderingsfunktion och tjockleksmätning med högsta precision på transparenta föremål.
- Exakta tjockleksmätningar med nanometernoggrannhet även med olika avstånd och vibrerande mätobjekt
- Stabil mätning från stort avstånd, även av antireflexbelagda mätobjekt
- Industrioptimerade sensorer med robust metallhölje och flexibla kablar
- Mätfrekvens upp till 6 kHz för höghastighetsmätningar
- Enkel konfiguration via webbgränssnitt
Stabil tjockleksmätning med varierande mätavstånd
IMS5400-TH interferometer med vitt ljus används för mycket noggranna tjockleksmätningar från ett relativt stort avstånd. En avgörande fördel här är att exakta, avståndsoberoende mätningar kan utföras med nanometerprecision även på rörliga föremål. Det stora mätområdet möjliggör mätning av tunna lager, plattglas och filmer. Eftersom interferometern arbetar med en SLED nära det infraröda området är det också möjligt att mäta tjocklek på glas med antireflexbehandlad yta.
Luftspaltsmätning (med brytningsindex ~1) 50 µm till 2,1 mm
Mätning av glastjocklek (med brytningsindex ~1,5) 35 µm till 1,4 mm
Multi-layer thickness measurement
With the multi-peak controller variant, several signal peaks can be evaluated simultaneously. This allows multi-layer thickness measurement of transparent objects and laminated glass. The controller outputs the thickness values with the highest stability regardless of their position.
Idealisk för industriella miljöer
Robusta sensorer och en styrenhet i metallhus gör systemet idealiskt för integration i produktionslinjer. Styrenheten kan installeras i styrskåpet genom montering på DIN-skena och ger mycket stabila mätresultat tack vare aktiv temperaturkompensation och passiv kylning. Dessa kompakta sensorer är extremt platsbesparande och kan integreras i trånga utrymmen samt har mycket flexibla fiberoptiska kablar. Kablar i längder upp till 10 m möjliggör avstånd mellan sensor och styrenhet. Sensorn kan justeras enkelt och snabbt med den integrerade pilotlasern. Driftsättning och parametrinställning utförs enkelt via webbgränssnittet och kräver ingen mjukvaruinstallation.
Numerous models for demanding measurement tasks
| Model | Measuring range / Start of measuring range | Linearity | Number of measurable layers | Fields of application |
| IMS5400-TH45 | 0.035 ... 1.5 mm (for BK7, n=1.5) / approx. 41.5 mm with an operating range of approx. 7 mm | ±100 nm | 1 layer | Industrial inline thickness measurement e.g. in flat glass production of single-layer glass |
| IMS5400-TH45/VAC | Inline thickness measurements in clean room environments and vacuum e.g. in display production for gap measurement in vacuum | |||
| IMS5400MP-TH45 | ±100 nm | Up to 5 layers | Industrial inline multi-layer measurement e.g. in flat glass production of multi-layer glasses | |
| IMS5400MP-TH45/VAC | Inline multi-layer measurements in clean room environments e.g. in display production for multi-layer measurement in vacuum | |||
| IMS5400-TH70 | 0.035 ... 1.5 mm (for BK7, n=1.5) / approx. 68 mm with an operating range of approx. 4.2 mm | ±200 nm | 1 layer | Industrial inline thickness measurement e.g. in film production of single-layer films |
| IMS5400MP-TH70 | ±200 nm | Up to 5 layers | Industrial inline multi-layer measurement e.g. in film production of multi-layer films |
Moderna gränssnitt för integration i maskiner och system
Styrenheten erbjuder integrerade gränssnitt som Ethernet, EtherCAT och RS422 samt ytterligare pulsgivaranslutningar, analoga utgångar, synkroniseringsingångar och digitala I/O. Detta gör att interferometern kan integreras i alla styrsystem och produktionsprogram.
 |
 |
 |
 |
 |
 |
