Interferometer med vitt ljus för exakt avståndsmätning med subnanometerprecision

Avståndsmätningar med subnanometerupplösning
interferoMETER IMS5600-DS
Avståndsmätningar med subnanometerupplösning
Nytt:

Den nya interferometern IMS5600-DS med vitt ljus används för avståndsmätningar med högsta precision. Styrenheten erbjuder en speciell kalibrering med intelligent utvärdering och möjliggör absoluta mätningar med subnanometerupplösning. Interferometern används för mätuppgifter med högsta noggrannhetskrav t.ex. inom elektronik- och halvledarproduktion.

Detaljer
  • Avståndsmätning med subnanometerprecision
  • Bäst i sin klass: upplösning < 30 picometer
  • Exakt mätning, lämplig för stegprofiler
  • Kompakta och robusta sensorer med stort offsetavstånd
  • Mäthastighet upp till 6 kHz för höghastighetsmätningar
  • Enkel konfiguration via webgränssnitt
  • Sensorer och kablar lämpliga för vakuum

Exakt avståndsmätning med stort mätområde och offsetavstånd

IMS5600-DS används för högprecisionsmätning av position och avstånd. Systemet ger absoluta mätvärden och kan därför också användas för avståndsmätning av stegprofiler. Tack vare den absoluta mätningen samplas steg med hög signalstabilitet. Vid mätning på rörliga föremål kan skillnader i höjd, steg och fördjupningar påvisas på ett tillförlitligt sätt. Mätsystemet erbjuder sub-nanometerupplösning med ett stort offsetavstånd i förhållande till mätområdet.

Multi-peak distance measurement

With multi-peak distance measurement on transparent objects, up to 14 distance values are evaluated simultaneously. For example, the distance between glass and a carrier plate can be determined. The controller can then calculate the glass thickness from the distance values.

Designad för avståndsmätning med hög upplösning i vakuum

IMS5600-DS interferometrar kan användas för mätuppgifter i vakuum och renrum där interferometrarna uppnår en upplösning inom subnanometerområdet. För vakuumapplikationer erbjuder Micro-Epsilon speciella sensorer, kablar och tillbehör för genomföringar. Dessa sensorer och kablar är partikelfria i hög grad och kan användas i renrum till UHV.

Stabila avståndsmätningar med högsta precision

Styrenheten kan installeras i styrskåpet via montering på DIN-skena och ger mycket stabila mätresultat tack vare aktiv temperaturkompensation och passiv kylning. Dessa kompakta sensorer är extremt platsbesparande och har mycket flexibla fiberoptiska kablar. Kabellängder upp till 10 m möjliggör avstånd mellan sensor och styrenhet. Sensorn kan justeras enkelt och snabbt tack vare den integrerade pilotlasern. Driftsättning och parametrinställning utförs enkelt via webbgränssnittet och kräver ingen mjukvaruinstallation.

Mätning av flera ytor

Den interferometriska mätmetoden möjliggör mätningar på många ytor och avståndsmätningar med hög precision på reflekterande metaller, plast och glas.

Numerous models for demanding measurement tasks

ModelMeasuring range /
Start of measuring range
LinearityNumber of measurable layers
Fields of application
IMS5600-DS192.1 mm / approx. 19 mm±10 nm-

High precision distance measurements in industrial processes e.g. in precision manufacturing

IMS5600-DS19/VAC

Precise positioning tasks and distance measurements in clean room environments and vacuum e.g. in display production for mask positioning

IMS5600MP-DS19Distance measurement:
2.1 mm / approx. 19 mm
Thickness measurement:
0.01 ... 1.3 mm (for BK7, n=1.5) / approx. 19 mm
±10 nm for the first distance
±100 nm for each further distance
Up to 13 layersHigh-precision distance and thickness measurements in industrial processes e.g. in semiconductor production for determining layer thicknesses on wafers or in LED manufacturing
IMS5600MP-DS19/VACHigh-precision distance and thickness measurements in clean room environments and vacuum
e.g. in semiconductor production for measuring position and gap dimensions on masks and wafers

Moderna gränssnitt för integration i maskiner och system

Styrenheten erbjuder integrerade gränssnitt som Ethernet, EtherCAT och RS422 samt ytterligare pulsgivaranslutningar, analoga utgångar, synkroniseringsingångar och digitala I/O. Detta gör att interferometern kan integreras i alla styrsystem och produktionsprogram.

Analog RS422 Ethernet Ethercat Profinet EthernetIP

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
jakob.geisler@micro-epsilon.se
+46 8 564 733 80