För att kunna tillverka högkvalitativa halvledarchips krävs exakta justerings- och positioneringstekniker vid tillverkningen av glaswafers. Ett avgörande steg här är notch-detektering, där positionerna för skårorna (notches) på wafern registreras exakt. Dessa skåror fungerar som referenspunkter för efterföljande bearbetnings- och hanteringssteg.

De fiberoptiska sensorerna optoCONTROL CLS1000 används för exakt notch-detektering. Dessa toppmoderna sensorer detekterar den exakta positionen för skårorna på glaswafern och möjliggör därmed en extremt tillförlitlig inriktning. CLS1000-sensorerna övertygar med sin höga upplösning och noggrannhet vid mätning av positioner och avstånd. De kännetecknas därtill av sin kompakta konstruktion, enkla integrerbarhet och höga tillförlitlighet. Tack vare sin prestanda är de ett viktigt stöd för produktionen av halvledarchips på glaswafers.

Fördelar

• Hög upplösning och noggrannhet för exakt positionsbestämning
• Snabb reaktionstid vid upp till 10 kHz och en tillslagstid på 100 µs
• Enkel integrerbarhet även i befintliga system
• Vakuumkompatibla sensorhuvuden