Kapacitivt multi-kanalsystem för maximal upplösning

Nanometer flerkanalssystem
capaNCDT 6500
Nanometer flerkanalssystem

Kapacitiva avståndssensorer är konstruerade för mätuppgifter som kräver extremt hög precision. Det kapacitiva multi-kanal systemet capaNCDT 6500 är perfekt lämpad för tillförlitliga mätningar med upplösning under nanometer. Kontrollern erbjuder en frekvensrespons på upp till 7,8 kHz (digital, med upp till fyra kanaler) eller en bandbredd på 8,5 kHz. Förutom analog utgång finns även EtherCAT interface som tillval. EtherCAT gör det möjligt att överföra data i realtid, med höghastighets-integrering till existerande mätmiljö och synkronisering av två system. Inställningar och konfigurering av capaNCDT 6500 systemet görs enkelt via webbläsaren.

Detaljer
  • Mätområde (mm):
    0,05 | 0,2 | 0,5 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10
  • Upplösning max. 0,0375nm
  • Linjäritet max. 0,01µm
  • Bandbredd 8,5 kHz (-3dB)
  • Dataöverföring (digital output) 7.8kHz
  • Analog utgång (spänning/ström)
  • Ethernet, EtherCAT
  • Modulär – upp till 8 kanaler
  • Intern eller extern förförstärkare
  • Användarvänlig inställning och konfigurering via webbläsare

Maximal upplösning

capaNCDT 6500 systemet är designat för mätuppgifter som kräver sub-nanometerupplösning. Dess styrkor har speciellt tydligt påvisats i positioneringstillämpningar inom halvledarindustrin samt i laboratorietillämpningar. Den modulära capaNCDT 6500 är designad för multi-kanal applikationer. Upp till 8 sensorer kan via förförstärkare anslutas till signalkonditioneringsenheten.

Enkel att använda via webbinterface

Tack vare det användarvänliga webbinterfacet kan hela konfigurationsprocessen av kontroller och sensorer göras utan användning av ytterligare programvaror. Webbinterfacet nås via Ethernet och erbjuder inställnings- och konfigurationsfunktioner för filter, aritmetiska länkar och andra användbara parametrar som triggning, mätvärdeslagring och linjärisering.

Klapper_Controller-capaNCDT-6530_500x250

Den kapacitiva kontrollern DT6530 erbjuder maximal upplösning och signalstabilitet för kapacitiv avståndsmätning. Kontrollern kan arbeta med upp till 8 kanaler och fungerar inte enbart för elektriskt ledande material utan även på isolatorer. Förutom analoga utgångar är kontrollern även utrustad med Ethernet. Kontrollern DT6530 är kompatibel med alla sensorer och kablar i capaNCDT-serien.

Detaljer
  • Upplösning dynamisk 0,002 % FSO (8,5 kHz)
  • Bandbredd 8,5 kHz (-3 dB) (omkopplingsbar 20 Hz; 1 kHz; 8,5 kHz)
  • Analog utgång 0…10 V (kortslutningssäker), 4…20 mA; 0…20 mA
  • Digitalt interface Ethernet 24 bit; EtherCAT
  • Specialtrimmning: upp till 4 gånger standard kabellängd
capaNCDT_Montagebügel_500x250

The mounting frame is designed for use with capacitive sensors for two-sided thickness measurements and helps to align the measuring points with one another. The frame allows for the sensors to lie exactly on one axis, meaning that the measuring points are arranged congruently. This prevents measurements at an offset and a reliable measurement result is achieved with the highest possible precision. The mounting frames provide space for up to 6 sensors. Two sensors each form a measuring point.

Detaljer
  • Multi-track thickness measurement at up to 3 points simultaneously
  • High temperature stability for precise measurements at temperatures of up to 100 °C
  • Suitable for vacuum
  • Extremely compact design
  • Easy integration and retrofitting in existing systems
  • Compatible with capaNCDT sensors
  • Calibratable design for high precision in thickness measurements

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
jakob.geisler@micro-epsilon.se
+46 8 564 733 80