Med sensorn IMP-NIR-TH3/90/IP68 utökar Micro-Epsilon sin interferoMETER-portfölj med en särskilt robust sensor för inline-tjockleksmätning av kisel- och SiC-wafers. Sensorn har en 90°-strålgång och ett litet arbetsavstånd på bara 3 mm, vilket gör den perfekt för applikationer med mycket begränsat installationsutrymme.
Stabil mätning i slipningsprocessen
Sensorn kommer verkligen till sin rätt i krävande processer som t.ex. slurry-slipning: Det robusta IP68-huset i rostfritt stål möjliggör användning direkt i maskinen, även vid hög luftfuktighet och partikelföroreningar. Ett rent utseende är särskilt viktigt vid slipning och läppning. Detta säkerställs med den integrerade friblåsningsanordningen som håller optiken permanent fri från partiklar och därmed möjliggör stabila mätningar.
90°-strålstyrning för trånga installationssituationer
En viktig egenskap hos sensorn är 90°-strålgången som möjliggör integrering även där installationsutrymmet är mycket begränsat. Arbetsavståndet på bara 3 mm och den mycket lilla ljuspunkten med en diameter på 15 µm skapar förutsättningar för exakta inline-mätningar direkt i maskinen. IMP-NIR-TH3/90/IP68-sesorn drivs med kontrollern IMS5420 och ger en kompakt, processäker lösning för mätning av högdopade wafers, där hög signalkvalitet är avgörande.