Die innovativen Weißlicht-Interferometer der interferoMETER-Serie von Micro-Epsilon stehen für absolute, berührungslose Abstandsmessungen mit höchster Präzision. Mit dem neuen IMP DS35/VAC erweitert Micro-Epsilon das Sensorportfolio um ein Modell, das speziell für vakuumtaugliche Umgebungen bis in den Ultrahochvakuum-Bereich ausgelegt ist. Der Sensor kombiniert einen großen Grundabstand von ca. 35 mm mit einer Auflösung von weniger als 1 nm und eignet sich damit besonders für anspruchsvolle Messaufgaben, bei denen Genauigkeit, Prozessstabilität und Integrationsfähigkeit entscheidend sind.
Großer Grundabstand für neue Einsatzmöglichkeiten
Der IMP DS35/VAC bietet einen Messbereich von 2,1 mm bei einem Messbereichsanfang von ca. 35 mm. Dadurch lassen sich präzise Abstandsmessungen aus sicherer Distanz realisieren, beispielsweise bei der Positionsüberwachung in der Glaswaferproduktion oder bei Messungen auf beschichteten Wafern. Der große Grundabstand erleichtert zudem Anwendungen an tiefliegenden oder schwer zugänglichen Messstellen. Mit einem Lichtpunktdurchmesser von nur 15 µm lassen sich auch kleine Strukturen zuverlässig erfassen, während der Messwinkel von ±1° stabile Messergebnisse bei anspruchsvollen Einbausituationen unterstützt.
Hohe Präzision in Kombination mit leistungsstarken Controllern
Der IMP DS35/VAC verfügt über ein robustes Gehäuse aus Edelstahl und ist für den Einsatz in Vakuumumgebungen bis UHV ausgelegt. Der neue Sensor steht für die Controller IMS5400 und IMS5400MP zur Verfügung, wodurch Auflösungen von weniger als 1 nm und Linearitäten von weniger als ±50 nm realisierbar sind. Damit eignet sich das System für hochpräzise Abstandsmessungen in modernen Produktions- und Prüfprozessen. Mit dem Controller IMS5400MP lassen sich darüber hinaus Multipeak-Abstandsmessungen an bis zu 13 Schichten durchführen. Dadurch eröffnen sich zusätzliche Möglichkeiten für die Analyse transparenter, beschichteter oder mehrlagiger Materialien.