Kontroll av linshållarens lutningsvinkel

Kapacitiva sensorer mäter linsbärarnas lutningsvinkel med nanometernoggrannhet. Tack vare högprecisionsmätning säkerställs en repeterbar projektion. Flera sensorer mäter på bäraren av metall. Den extremt höga upplösningen möjliggör exakt exponering av kiselplattor.