Övervakning av linsens inriktning med hjälp av konfokalkromatiska sensorer

Konfokalkromatiska sensorer används för att mäta linsens inriktning. Flera sensorer mäter direkt på linsen för att detektera lutningsvinkeln till nanometernoggrannhet. Till skillnad från elektromagnetiska sensorer mäter konfokala kromatiska sensorer pålitligt även på glasytor. Tack vare den höga mäthastigheten kan till och med dynamiska förändringar av linsrörelsen detekteras på ett tillförlitligt sätt.