Konfokala sensorer för högexakt mätning av avstånd, råhet och tjocklek

De konfokalkromatiska sensorerna confocalDT IFS2407 är konstruerade för högexakt mätning av avstånd, råhet och tjocklek. Sensorerna erbjuder en hög apertur, liten ljuspunktsdiameter och stora mätvinklar vilket gör att sensorerna också kan användas för mätning av råhet. Dessutom imponerar sensorerna med nanometernoggrannhet.

confocalDT IFS2407-0,1

  • Mätområde (mm): 0,1
  • Linjäritet: max. 0,05 µm
  • Upplösning: max. 3 nm
  • Perfekt för mätning av avstånd och ytråhet
  • Ljusintensivare version för snabba processer finns att få (NA 0,7)
  • Liten mätpunkt: 3 µm
  • Hög känslighet och stor mätvinkel
  • Tjockleksmätning på transparenta mätobjekt från 5 µm

confocalDT IFS2407-0,8

  • Mätområde (mm): 0,8
  • Linearitet max 0,2 µm
  • Upplösning max 24 nm
  • Liten ljuspunkt
  • Exakt avståndsmätning även på böjda ytor.
  • Idealisk för tjockleksmätning av tunna skikt.

confocalDT IFS2407-3

  • Mätområde (mm): 3
  • Linjäritet: max. 0,75 µm
  • Upplösning: max. 20 nm
  • Stort basavstånd ca 28 mm
  • Max. mätvinkel ± 30°
  • Perfekt för mätning på böjda och reflekterande ytor

confocalDT IFS2407/90-0,3

  • Mätområde (mm): 0,3
  • Linjäritet: max. 0,75 µm
  • Upplösning: max. 10 nm
  • Perfekt för mätning av förskjutning och ytråhet
  • Liten mätpunkt: 6 µm
  • Hög känslighet och stor mätvinkel

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
jakob.geisler@micro-epsilon.se
+46 8 564 733 80