Konfokala sensorer för mätning av avstånd, ytfinhet och tjocklek med hög precision

confocalDT IFS2407 är konstruerade för högprecisionsmätning av avstånd, ytfinhet och tjocklek. Dessa konfokalkromatiska sensorer erbjuder en hög numerisk bländare, en liten ljuspunktsdiameter och tolererar stora lutningsvinklar vilket gör att sensorerna också kan användas för mätning av ytfinhet. Dessutom imponerar sensorerna med nanometernoggrannhet.

confocalDT IFS2407-0,1

  • Mätområde (mm): 0.1
  • Linearitet: max. 0.05 µm
  • Upplösning: max 3 nm
  • Idealisk för mätning av avstånd och ytråhet
  • Ljusintensiv givare för höghastighetsprocesser (NA 0.7)
  • Liten mätpunnkt: 3 µm
  • Hög känslighet och stor lutningsvikel
  • Tjockleksmätning på transparenta mätobjekt från 5 µm

confocalDT IFS2407-0,8

  • Mätområde (mm): 0,8
  • Linearitet max 0,2 µm
  • Upplösning max 24 nm
  • Liten ljuspunkt
  • Exakt avståndsmätning även på böjda ytor.
  • Idealisk för tjockleksmätning av tunna skikt.

confocalDT IFS2407-3

  • Mätområde (mm): 3
  • Linearitet: max 0,75 µm
  • Resolution: max 20 nm
  • Stort offsetavstånd ca 28 mm
  • Max lutningsvinkel ± 30°
  • Ideaslisk för mätning på böjda och reflekterade ytor

confocalDT IFS2407/90-0,3

  • Mätområde (mm): 0,3
  • Linearitet: max. 0.75 µm
  • Upplösning: max. 10 nm
  • Perfekt för mätning av förskjutning och ytstruktur
  • Liten mätpunkt: 6 µm
  • Hög känslighet och stor lutningsvinkel

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
jakob.geisler@micro-epsilon.se
+46 8 564 733 80