Interferometer med vitt ljus för exakt avståndsmätning med nanometernoggrannhet

Absoluta avståndsmätningar med maximal precision
interferoMETER IMS5400-DS
Absoluta avståndsmätningar med maximal precision
Nytt:

Nya IMS5400-DS interferometer med vitt ljus erbjuder nya möjligheter inom industriell avståndsmätning. Styrenheten har en intelligent utvärderingsfunktion och möjliggör absoluta mätningar med nanometernoggrannhet på ett relativt stort offsetavstånd. Jämfört med andra absoluta mätoptiska system erbjuder IMS5400-DS en oöverträffad kombination av noggrannhet, mätområde och offsetavstånd.

Detaljer
  • Exakt avståndsmätning med nanometernoggrannhet
  • Absolut mätning, lämplig för stegprofiler
  • Kompakta och robusta sensorer med stort offsetavstånd
  • Mäthastighet upp till 6 kHz för höghastighetsmätningar
  • Robust styrenhet med passiv kylning
  • Enkel konfiguration via webbgränssnitt

Exakt avståndsmätning med upplösning i nanometer

IMS5400-DS används för högprecisionsmätning av position och avstånd. Till skillnad från konventionella interferometrar möjliggör IMS5400-DS också stabil mätning av stegprofiler. Tack vare den absoluta mätningen utförs skanning av steg med hög signalstabilitet och precision. Vid mätning på rörliga föremål kan skillnader i höjd, steg och fördjupningar påvisas på ett tillförlitligt sätt.

Multi-peak distance measurement

With multi-peak distance measurement on transparent objects, up to 14 distance values are evaluated simultaneously. For example, the distance between glass and a carrier plate can be determined. In addition, the controller can calculate the glass thickness based on the distance values.

Idealisk för industrimiljöer

Robusta sensorer och en styrenhet i metallhus gör systemet idealiskt för integration i produktionslinjer. Styrenheten kan installeras i styrskåpet genom montering på DIN-skena och ger mycket stabila mätresultat tack vare aktiv temperaturkompensation och passiv kylning. Dessa kompakta sensorer är extremt platsbesparande och kan också integreras i trånga utrymmen. Mycket flexibla fiberoptiska kablar finns i längder upp till 10 m och möjliggör avstånd mellan sensor och styrenhet. Driftsättning och parametrinställning utförs enkelt via webbgränssnittet och kräver ingen mjukvaruinstallation.

Liten ljuspunkt för de minsta detaljerna och strukturerna

Sensorerna genererar en liten ljuspunkt över hela mätområdet. Ljuspunktsdiametern är bara 10 µm och möjliggör detektering av små detaljer såsom strukturer på halvledare och miniatyriserade elektroniska komponenter.

Mätning av flera ytor

Den interferometriska mätmetoden möjliggör mätningar på många ytor. Detta möjliggör avståndsmätningar med hög precision på reflekterande metaller, plast och glas.

Numerous models for demanding measurement tasks

ModelMeasuring range /
Start of measuring range
LinearityNumber of measurable layers
Fields of application
IMS5400-DS192.1 mm / approx. 19 mm±50 nm-

Industrial distance measurements
e.g. in precision manufacturing

IMS5400-DS19/VAC

Precise positioning tasks and distance measurements in clean room environments and vacuum e.g. in display production for mask positioning

IMS5400MP-DS19Distance measurement:
2.1 mm / approx. 19 mm
Thickness measurement:
0.01 ... 1.3 mm (for BK7, n=1.5) / approx. 19 mm
±50 nm for the first distance
±150 nm for each further distance
Up to 13 layersIndustrial distance and thickness measurement e.g. in flat glass production
IMS5400MP-DS19/VACPrecise distance and thickness measurement in clean room environments and vacuum
e.g. in display production for distance and gap measurement

Moderna gränssnitt för integration i maskiner och system

Styrenheten erbjuder integrerade gränssnitt som Ethernet, EtherCAT och RS422 samt ytterligare pulsgivaranslutningar, analoga utgångar, synkroniseringsingångar och digitala I/O. Detta gör att interferometern kan integreras i alla styrsystem och produktionsprogram.

Analog RS422 Ethernet Ethercat Profinet EthernetIP

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
jakob.geisler@micro-epsilon.se
+46 8 564 733 80