Vitljusinterferometrar för avstånds- och tjockleksmätning med nanometerprecision

2021-06-29

Vitljusinterferometrar från Micro-Epsilon är lämpliga för användning inom industrin och uppnår stabila mätresultat. InterferoMETER består av en styrenhet, en givare och en fiberoptisk kabel. Samtliga delar är konstruerade för industriella mätuppgifter och utrustade med ett robust metallhus och flexibla kablar.
Många analoga och digitala gränssnitt som Ethernet och EtherCAT möjliggör enkel anslutning. Konfigurationen utförs via ett användarvänligt webbgränssnitt för initialt användande och parameterinställning.
IMS5400-TH används för tjockleksmätning av tunna, transparenta material. En givare detekterar mätvärdena oavsett avståndet från mätobjektet och klarar av fladdrande eller rörliga mätobjekt. Den nära-infraröda ljuskällan möjliggör också tjockleksmätningar av antireflexbehandlat glas.
Industriella avståndsmätningar utförs med IMS5400-DS-systemet som ger absoluta mätvärden. Även steg och kanter kan detekteras tillförlitligt utan signalförlust.
IMS5600-DS är utformad för avståndsmätningar i renrum och vakuummiljöer (upp till UHV). En speciell kalibrering av styrenheten möjliggör subnanometerupplösning och en linjäritet på <± 10 nm, vilket krävs till exempel vid inriktning av kiselplattor.

Fördelar

  • Noggrannhet i subnanometerområdet
  • Robust och industrioptimerad design
  • Exakt avståndsmätning
  • Avståndsoberoende tjockleksmätning
  • Hög signalstabilitet
  • Givare och kablar lämpade för vakuum

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
jakob.geisler@micro-epsilon.se
+46 8 564 733 80