Vitljusinterferometer möjliggör flerskiktsmätningar med hög precision

2022-05-19

Micro-Epsilons vitljusinterferometrar kännetecknas av enastående precision och absoluta mätvärden. De industriella enheterna är lämpliga för inline-användning vid maskinintegration såväl som för laboratorieapplikationer. Interferometrarna mäter såväl avstånd som tjocklek med nanometernoggrannhet vid pikometerupplösning.

Med de nya multi-peak-versionerna är nu även möjligt att detektera flera transparenta lager i en enda mätprocess. Två kontrollermodeller finns tillgängliga för multi-layer-avståndsmätning (IMS5x00-DS/MP) eller multi-layer-tjockleksmätning (IMS5400-TH/MP). Skillnaden mellan de två versionerna är att avståndssystemet beräknar skikttjocklekarna från respektive avståndsvärden medan tjocklekssystemet mäter direkt. Beroende på applikation ger detta olika fördelar:
System för multi-peak-avståndsmätning används framför allt för uppriktnings- och positioneringsuppgifter där avstånd och tjocklek ska bestämmas samtidigt. I ett stort mätområde på 2,1 mm kan upp till 13 lager med minsta tjocklek ner till 10 µm (BK7) detekteras. I förhållande till noggrannheten görs mätningen från ett stort avstånd på cirka 19 mm. Tack vare den absoluta mätningen behöver systemet inte refereras efter ett signalavbrott, till exempel vid steg eller kanter.

System för mylti-layer-tjockleksmätning används alltid när avståndsoberoende tjockleksvärden för upp till 5 lager krävs. I tjockleksmätområdet 2,1 mm mäts enstaka lager ner till 35 µm (BK7) tillförlitligt. Det stora arbetsområdet kompenserar för avståndsfluktuationer hos mätobjektet så att vibrationer eller andra materialrörelser inte påverkar mätningen. En annan fördel med tjocklekssystemen är deras stora offsetavstånd. Mätningar görs från upp till 70 mm från mätobjektet, vilket ger processtillförlitlighet och skyddar sensorn från att skadas.

Ett modernt, intuitivt webbgränssnitt för enkel systemkonfiguration finns tillgängligt för samtliga system. Dessutom erbjuder de olika gränssnitten (EtherCAT, Ethernet, PROFINET, EtherNet/IP, RS422, analog) många integrationsmöjligheter. För industriellt bruk är interferometrarna utrustade med en hög skyddsklass på IP65. Vakuumkompatibla system finns också som tillval.

Fördelar med vitljusinterferometern

  • Klassens bästa upplösning <30 pm
  • Linjäritet upp till ±10 nm för nanometerprecision
  • Avståndsoberoende tjockleksmätning
  • Mäter upp till 13 lager med minsta tjocklek upp till 10 µm
  • Robust system för processstabila mätresultat
  • Stort avstånd till mätobjektet vid 2,1 mm mätområde
  • Pilotlaser visualiserar mätpunkt och ger optisk feedback gällande mätposition

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
jakob.geisler@micro-epsilon.se
+46 8 564 733 80