interferoMETER: Kraftfulla sensorer för speciella krav

2023-10-04

Med interferoMETER-serien erbjuder Micro-Epsilon innovativa vitljusinterferometrar för industriell avstånds- och tjockleksmätning med högsta noggrannhet. Till skillnad från laserinterferometrar kan absoluta avståndsmätningar därmed utföras även vid signalstörningar. Upplösningar ner till pikometerområdet kan realiseras. Tre nya sensorer finns tillgängliga för högpresterande mätningar i speciella miljöer.

interferoMETER IMP-DS0.5/90/VAC90°

Avståndssensor för små installationsutrymmen
Mätområde 1,5 mm
Linjäritet ±10 nm (beroende på kontrollenhet)
Radiell strålutgång
Version för vakuumtillämpningar upp till UHV

interferoMETER IMP-DS19/VAC(001)

Sensor med högsta temperaturstabilitet
Mätområde 2,1 mm
Linjäritet ±10 nm (beroende på kontrollenhet)
Sensormaterial av invar
Version för vakuumtillämpningar upp till UHV

interferoMETER IMP-DS1/VAC

Miniatyriserad avståndssensor ø4 mm
Mätområde 1,1 mm
Linjäritet ±10 nm (beroende på kontrollenhet)
Integrerad kabel för enkel installation
Version för vakuumtillämpningar upp till UHV