Hoppa direkt till huvudnavigeringen Gå direkt till innehållet Hoppa till undernavigering

Ny interferometer för högprecisionsmätning av wafertjocklek

hochpräzise Wafer-Dickenmessung mit interferoMETER

Vid tillverkning av halvledarwafers är högsta precision avgörande. Ett viktigt processteg är läppningen av ämnena, som därigenom får en jämn tjocklek. Vitljusinterferometrarna i serien interferoMETER IMS5420-har utvecklats för kontinuerlig kontroll av tjockleken.

Dessa består av en kompakt sensor och en kontrollerenhet som är inrymda i en robust kapsling av industrikvalitet. En aktiv temperaturkontroll som är integrerad i kontrollerenheten säkerställer hög stabilitet i mätningen.

Interferometern finns tillgänglig som antingen tjockleks- eller multipeak-system för tjockleksmätning. Multipeak tjockleksmätningssystem kan mäta tjockleken på upp till fem lager, t.ex. wafertjocklek, air gap, foliering och beläggningar >50 µm. För tjockleksmätningar i svåra miljöförhållanden finns kontrollerenheten IMS5420IP67 med IP67- och rostfritt stålhölje samt matchande ljusledare och sensorer.

Fördelar

  • Nanometernoggrann tjockleksmätning av odopade, dopade och högdopade wafers
  • Multi-Peak: Detektering av upp till 5 lager med en SI-tjocklek från 0,05 till 1,05 mm
  • Hög upplösning i z-axeln på 1 nm
  • Mätfrekvens upp till 6 kHz för snabba mätningar
  • Ethernet/EtherCAT/RS422/PROFINET/EtherNet/IP
  • Enkel parameterinställning via webbgränssnitt