Vid tillverkning av halvledarwafers är högsta precision avgörande. Ett viktigt processteg är läppningen av ämnena, som därigenom får en jämn tjocklek. Vitljusinterferometrarna i serien interferoMETER IMS5420-har utvecklats för kontinuerlig kontroll av tjockleken.
Dessa består av en kompakt sensor och en kontrollerenhet som är inrymda i en robust kapsling av industrikvalitet. En aktiv temperaturkontroll som är integrerad i kontrollerenheten säkerställer hög stabilitet i mätningen.
Interferometern finns tillgänglig som antingen tjockleks- eller multipeak-system för tjockleksmätning. Multipeak tjockleksmätningssystem kan mäta tjockleken på upp till fem lager, t.ex. wafertjocklek, air gap, foliering och beläggningar >50 µm. För tjockleksmätningar i svåra miljöförhållanden finns kontrollerenheten IMS5420IP67 med IP67- och rostfritt stålhölje samt matchande ljusledare och sensorer.
Fördelar
- Nanometernoggrann tjockleksmätning av odopade, dopade och högdopade wafers
- Multi-Peak: Detektering av upp till 5 lager med en SI-tjocklek från 0,05 till 1,05 mm
- Hög upplösning i z-axeln på 1 nm
- Mätfrekvens upp till 6 kHz för snabba mätningar
- Ethernet/EtherCAT/RS422/PROFINET/EtherNet/IP
- Enkel parameterinställning via webbgränssnitt