Högexakta lägessensorer för OEM serietillämpningar inom maskintillverkning inom halvledarindustrin
Sensorteknik från Micro-Epsilon är sedan många år väl beprövad inom halvledarindustrin och där innebär de den perfekta lösningen för mängder av mätuppgifter: högexakta sensorer för komplexa frontend-processer- backend-tillämpningar och för automatiseringar för waferhantering. Våra sensorlösningar övertygar med maximal noggrannhet, tillförlitlighet och långtidsstablitet – även under krävande processförhållanden i de mest skilda tillverkningsmiljöerna.
Varför Micro-Epsilon?
- Mer precision ner till pikometern – Made in Germany
- Rådgivning, utveckling & produktion från en leverantör
- Tillsammans med våra kunder: Kvalitet och lösningskompetens i serie & OEM
- Djupgående kunskaper om teknik och tillämpning inom halvledarproduktion
- Moderna tillverkningsförfaranden och högexakta lägessensorer och sensorsystem
Optimerade sensorer för OEM serietillämpningar
För serietillämpningar modifierar vi våra sensorer enligt dina uppgifter, t.ex. ändringar på kabeln, sensormaterial och form, samt på kontrollerenheten. Därutöver använder vi oss av sensormaterial anpassade efter respektive tillämpning.
Typiska sensorspecifikationer för serietillämpningar:
- Vakuumduglig: Material med låg utgasning och UHV-konform tillverkningsteknik
- Specificerad förbindningsteknik
- Halvledarkonform text och förpackning
- Prestandaoptimering för maximal mätnoggrannhet
- Maximal okänslighet vid elektromagnetiska fält
- Höga kvalitetsstandarden i alla processteg
Ready for Semicon – optimerat produktionsförfaranden
Alla sensorer och system genomgår komplexa tillverknings- och provprocesser. Detta berör bland annat urval och placering av elektronikdelarna, den mekaniska tillverkningen liksom speciell processteknik.
Högspecialiserade tillverkningsförfaranden
- UKP-laserteknik
- Lödning i vakuum vid hög temperatur
- Mekaniks precisionstillverkning
- Burn-In-Tests
- Helautomatiska gjutanläggningar
- Passivering och beläggning av komponenter och komponentgrupper
- Specialiserade rengöringsprocesser
Embedded Coil-Technology
För särskilt anspråksfulla OEM projekt rekommenderas en konstruktion med Embedded Coil Technology eller Embedded Capacitor Technology (ECT). Med den miniatyriserade sensorkonstruktionen i ett oorganiskt material finns det nästan inga begränsningar för den yttre formen. Tack vare substratet i keramik är sensorerna mekanisk robusta och extremt stabila. Vid behov kan den kompletta utvärderingselektroniken integreras i sensorn. Därmed kan ECT-sensorer anpassas till speciella monteringssituationer. ECT-sensorerna är lämpliga för särskilt tuffa användningsförhållanden och har visat sin duglighet inom många olika tillämpningar.
Mer precision för halvledarindustrin
Micro-Epsilon erbjuder rätt lösning för mängder av olika tillämpningar inom halvledarindustrin – från den högexakta optikpositioneringen och hållarinriktningen till hybridförbindning. Sensorerna används både i frontend-och backend-processer och övertygar med maximal precision och tillförlitlighet.
