3D-formmätning av kiselplattor

reflectCONTROL deflektometri system används för att detektera planheten eller planiteten hos 150 mm skivor. Dessa mäter planheten med bara en bild. För detta ändamål projicerar sensorerna ett randigt mönster på skivan, som spelas in av de integrerade kamerorna. Geometriska avvikelser på skivan orsakar en snedvridning av det randiga mönstret, som utvärderas av programvaran. Sensorn ger en mycket exakt 3D-representation av den reflekterande ytan baserat med vilken topologin kan bestämmas med mikrometernoggrannhet.