Höjdmätning av skivstötar

Hittills harde 50 till 350 µm små bulorna inspekterats av kamerasystem under produktionen. Den avgörande nackdelen med denna metod är att endast närvaron eller positionen kontrolleras. Höjden kan endast bestämmas offline med hjälp av sektioner tagna med ett mätmikroskop. Därför används konfokalkromatiska sensorer från Micro-Epsilon. Sensorerna mäter exakt på de blanka och strukturerade ytorna på datorchipen. Tack vare den fokuserade ljuspunkten uppnås också en hög lateral upplösning på cirka 4 µm.