Kontroll av sprickor och brott
Konfokalkromatiska givare från Micro-Epsilon används för att upptäcka sprickor och andra defekter på skivan. Tack vare en snabb funktion för ytkompensation kan ytor med olika reflektionsegenskaper kontrolleras tillförlitligt. En extremt liten mätpunkt och hög upplösning möjliggör pålitlig detektion av de finaste oegentligheterna på skivan.