Position av kiselplatta

Beröringsfria givare från Micro-Epsilon används för positionsövervakning av kiselplattor där de mäter mycket dynamiska XYZ-rörelser som accelererar mycket snabbt. Kapacitiva och induktiva givare (virvelström) uppnår nanometerupplösning för att säkerställa att plattan är exakt positionerad inför exponeringsprocessen. De innovativa givarna kan användas i vakuumapplikationer och är okänsliga för starka magnetfält.