Interferometer med vitt ljus för exakt avståndsmätning med subnanometerupplösning
Den nya interferometern IMS5600-DS med vitt ljus används för avståndsmätningar med högsta precision. Styrenheten erbjuder en speciell kalibrering med intelligent utvärdering och möjliggör absoluta mätningar med subnanometerupplösning. Interferometern används för mätuppgifter med högsta noggrannhetskrav t.ex. inom elektronik- och halvledarproduktion.
Speciella egenskaper
- Absolut avståndsmätning med precision i subnanometer-området, lämplig för mätning av t.ex. stegprofiler
- Multi-Peak-avståndsmätning av transparenta objekt
- Best-in-Class: upplösning < 30 pikometer
- Kompakta och robusta sensorer med stort basavstånd
- Mätfrekvens upp till 6 kHz för snabba mätningar
- Enkel konfiguration via webbgränssnitt
- Vakuumbeständiga sensorer och kablar
- Kompakta sensorer även med 90° strålgång
- Flexibel industriell integration för snabb fältanpassning på plats
Exakt avståndsmätning med stort mätområde och offsetavstånd
IMS5600-DS används för högprecisionsmätning av position och avstånd. Systemet ger absoluta mätvärden och kan därför också användas för avståndsmätning av stegprofiler. Tack vare den absoluta mätningen samplas steg med hög signalstabilitet. Vid mätning på rörliga föremål kan skillnader i höjd, steg och fördjupningar påvisas på ett tillförlitligt sätt. Mätsystemet erbjuder sub-nanometerupplösning med ett stort offsetavstånd i förhållande till mätområdet.
Multi-peak avståndsmätning
Med multi-peak avståndsmätning på transparenta objekt utvärderas upp till 14 avståndsvärden samtidigt. Till exempel kan avståndet mellan glas och en bärplatta bestämmas. Styrenheten kan sedan beräkna tjockleken på glaset från avståndsvärdena.
Designad för avståndsmätning med hög upplösning i vakuum
IMS5600-DS interferometrar kan användas för mätuppgifter i vakuum och renrum där interferometrarna uppnår en upplösning inom subnanometerområdet. För vakuumapplikationer erbjuder Micro-Epsilon speciella sensorer, kablar och tillbehör för genomföringar. Dessa sensorer och kablar är partikelfria i hög grad och kan användas i renrum till UHV.
Stabila avståndsmätningar med högsta precision
Styrenheten kan installeras i styrskåpet via montering på DIN-skena och ger mycket stabila mätresultat tack vare aktiv temperaturkompensation och passiv kylning. Dessa kompakta sensorer är extremt platsbesparande och har mycket flexibla fiberoptiska kablar. Kabellängder upp till 10 m möjliggör avstånd mellan sensor och styrenhet. Sensorn kan justeras enkelt och snabbt tack vare den integrerade pilotlasern. Driftsättning och parametrinställning utförs enkelt via webbgränssnittet och kräver ingen mjukvaruinstallation.
Mätning av flera ytor
Den interferometriska mätmetoden möjliggör mätningar på många ytor och avståndsmätningar med hög precision på reflekterande metaller, plast och glas.
NYHET: sensorer även med 90° strålgång
Tack vare det kompakta utförandet kan sensorerna integreras även i trånga utrymmen. För modellerna med 90° strålutgång reduceras det nödvändiga installationsdjupet ytterligare.
Ett stort antal modeller för krävande mätuppgifter
| Model | Mätområde / Start av mätområde |
Linjäritet | Antal mätbara lager | Användningsområden |
|---|---|---|---|---|
| IMS5600-DS0,5/90/VAC | 1,5 mm /ca. 0,5 mm | ±10 nm | - | High-precision distance measurement in a clean room environment and vacuum, e.g. measurement on coated wafers. Non-magnetic titanium UHV variant enables use in strong magnetic fields, e.g. in medical technology (nuclear spinning or electron beam microscope) |
| IMS5600-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | |||
| IMS5600-DS19 | 2.1 mm / ca. 19 mm | ±10 nm | - | Avståndsmätningar med hög precision i industriella processer t.ex. inom precisionstillverkning |
| IMS5600-DS19/VAC |
Exakta positioneringsuppgifter och avståndsmätningar i renrumsmiljöer och vakuum t.ex. vid maskpositionering i displayproduktion |
|||
| IMS5600MP-DS19 | Avståndsmätning: 2.1 mm / ca. 19 mm Tjockleksmätning: 0.01 ... 1.3 mm (för BK7, n=1.5) / ca. 19 mm |
±10 nm for the first distance ±100 nm for each further distance |
Up to 13 layers |
Avstånds- och tjockleksmätningar med hög precision i industriella processer t.ex. vid halvledartillverkning för bestämning av skikttjocklekar på wafers eller vid LED-tillverkning |
| IMS5600MP-DS19/VAC | Avstånds- och tjockleksmätningar med hög precision i renrumsmiljöer och vakuum t.ex. i halvledarproduktion för mätning av position och spaltdimensioner på masker och wafers |
Gränssnitt och signalbehandlingsenheter
Moderna gränssnitt för integration i maskiner och system
Styrenheten erbjuder integrerade gränssnitt som Ethernet, EtherCAT och RS422 samt ytterligare pulsgivaranslutningar, analoga utgångar, synkroniseringsingångar och digitala I/O. Detta gör att interferometern kan integreras i alla styrsystem och produktionsprogram.
