Hoppa direkt till huvudnavigeringen Gå direkt till innehållet Hoppa till undernavigering

Absolutinterferometer: Nya vakuumsensorer med 90° Optik

interferoMETER-IMS5400-DS-10-90-VAC_IMS5600-DS-10-90-VAC__900x370px.jpg

Absolutinterferometrarna interferoMETER 5400-DS och 5600-DS används för avståndsmätning med nanometernoggrannhet. Produktgruppen har nu utökats med nya sensorer med ett stort basavstånd på 10 mm. Dessa är avsedda för högprecisionsapplikationer i renrumsmiljöer och i vakuum, t.ex. för mätningar på belagda wafers. En icke-magnetisk UHV-version i titan möjliggör även användning i starka magnetfält, som t.ex. inom medicinsk teknik i kärnspinn- eller elektronstrålemikroskop.

Utformningen med 90° optik minskar kraftigt det nödvändiga installationsdjupet. Beroende på val av kontrollerenhet är linjäriteter på < ±50 nm eller < ±10 nm möjliga. De innovativa absolutinterferometrarna har omfattande anslutningsmöjligheter för optimal integrering i olika styrsystem och produktionsprogram. De inkluderar digitala gränssnitt som Ethernet, EtherCAT, RS422, PROFINET och EtherNet/IP samt en analogutgång. Hela konfigurationen av kontrollenheten och dess sensorer utförs som vanligt via webbgränssnittet utan ytterligare programvara.