Inom halvledarindustrin, optiken eller flyget är mätningar under vakuumförhållanden en del av vardagen, samtidigt som de ställer mycket höga krav på sensortekniken. Micro-Epsilon erbjuder både katalogsensorer och specialutvecklade sensorer som arbetar tillförlitligt och med hög precision under extrema förhållanden. Tack vare de anpassade materialen och den optimerade konstruktionen fungerar de antingen direkt i vakuum eller så kan de mäta från utsidan genom vakuumfönster.
Beroende på applikation används optiska, induktiva, kapacitiva eller interferometriska sensorer. Lasersensorer från optoNCDT-serien är idealiska för avståndsmätning i processer som lasersvetsning eller additiv tillverkning. Konfokala sensorer från confocalDT-serien är förstahandsvalet för nanometerprecisa tjockleksmätningar på wafers eller displayer. Absolutinterferometrar ger högprecisionsmätningar av avstånd och tjocklek vid bland annat halvledartillverkning. Induktiva sensorer baserade på virvelström i induSENSOR-serien, kapacitiva sensorer capaNCDT och magnetinduktiva sensorer mainSENSOR erbjuder ytterligare lösningar för krävande vakuumapplikationer, t.ex. inom flygindustrin.
Alla sensorer tillverkas enligt mycket stränga specifikationer och kontrolleras regelbundet (t.ex. TENAX-provtagning). Tack vare kompakta konstruktioner, integrerade kontroller och intelligenta gränssnitt kan de installeras snabbt och integreras på ett flexibelt sätt i befintliga system. Micro-Epsilon erbjuder rätt mätteknik för varje vakuumtillämpning: skräddarsydd och redo för omedelbar användning. Mer information och tips finns i vår aktuella branschbroschyr.