Den nya vitljusinterferometern, interferoMETER IMS5200-TH, är konstruerad för snabba inline-mätningar med hög precision. Den mäter beläggningstjocklekar från 1 till 100 µm med nanometerprecision och en enastående linjäritet på <± 100 nm. Dessutom är Multi-Peak-mätning av upp till fem tunna skikt möjlig. Mätfrekvensen kan justeras steglöst i intervallet 100 Hz till 24kHz. Tack vare den sparade materialvalslistan erbjuder den maximal flexibilitet vid användning. Separat inlärning av materialet är inte nödvändigt.
IMS5200-TH kan användas för en mängd olika applikationer, från mätning av luftspalt i glasskivor och mallar till testning av beläggningsprocesser för dryckeskartonger och färgtjocklekstester inom metallindustrin. Sektorer som halvledarproduktion, metall- och stålindustrin samt förpackningsindustrin drar särskilt stor nytta av den nya interferometerserien från Micro-Epsilon.
Sensorn och kontrollern matchas och kalibreras till varandra på fabriken, vilket möjliggör mätningar av luftspalt och skikttjocklek med nanometerprecision. Tack vare den kompakta och robusta sensordesignen i kombination med ett stort arbetsområde på ± 2 mm kan sensorn enkelt integreras även i trånga produktionslinjer. Kontrollern är monterad på en DIN-skena i kontrollskåpet.
För sömlös integrering i moderna nätverk erbjuder Micro-Epsilon Ethernet, EtherCAT och RS422 samt avancerade enkoderanslutningar och digitala I/O. Tack vare mångsidiga gränssnitt kan mätvärden bearbetas effektivt via befintliga analoga utgångar och integreras på ett flexibelt sätt i befintliga automatiseringssystem.
Sensorerna har kapslingsklass IP40 (kontroller) och IP65 (sensor) och kan användas i ett temperaturområde på +10 till +50 °C, vilket gör dem anpassade för industriella miljöer. De kan också användas i speciella miljöer som renrum och vakuum. Även under höga stöt- eller vibrationsbelastningar säkerställer interferometern konsekvent höga mätresultat. Jämfört med konventionella interferometrar kan Micro-Epsilons vitljusinterferometrar enkelt driftsättas och parametreras via ett webbgränssnitt, vilket innebär att ingen ytterligare programvara behöver installeras.
Inline-mätning av tunna skikt med hög precision
