Kapacitiva sensorer används när mycket små avstånd och förskjutningar behöver mätas med hög noggrannhet. Men i miljöer med extrem temperatur, ultrahögt vakuum eller starka magnetfält ställs särskilda krav på sensorns material, konstruktion och stabilitet. Micro-Epsilons capaNCDT-sortiment omfattar lösningar för industri, forskning och OEM-integration, med upplösningar ned till 0,03 nm. Det samlade sortimentet täcker temperaturer från −270 till +800 °C, beroende på sensormodell.
Nya sensorer för extrema miljöer
Den nya CSH/SE-serien omfattar fem cylindriska och sju plana sensormodeller med mätområden från 0,2 till 5 mm. Sensorerna bygger på de etablerade CSH-modellerna och har i stort sett samma konstruktion och kabeldimensioner. Det underlättar valet av sensorer för applikationer där standardmodeller inte uppfyller miljökraven. CSH/SE-serien är särskilt utvecklad för användning inom bland annat halvledarproduktion, forskning och andra tekniskt krävande miljöer.
Konstruerade för extrem kyla och starka magnetfält
SE-sensorerna är anpassade för temperaturer från −270 till +200 °C och har hög temperaturstabilitet. Det icke-magnetiska titanhöljet gör dem lämpliga för mätningar nära starka magnetfält, exempelvis inom kryoteknik, forskning och rymdteknik.
Även den integrerade kabeln är anpassad till miljön, med låg avgasning samt god temperaturbeständighet och mekanisk tålighet.
Anpassade för ultrahögt vakuum och renrum
I vakuum- och renrumsmiljöer är materialval och kontaminering avgörande faktorer. SE-sensorerna genomgår därför särskild rengöring före leverans och är konstruerade med material som ger mycket låg avgasning. Sensorerna är även förberedda för restgasanalys. Det möjliggör användning i ultrahögt vakuum ned till 10⁻¹⁰ mbar, exempelvis i partikelacceleratorer, halvledarutrustning och processer för kemisk ångdeponering.
Kompaktare spaltsensorer ger fler integrationsmöjligheter
Micro-Epsilon introducerar även tre nya kapacitiva spaltsensorer: CSG-0.5/CRg2.0, CSG-1/CRg2.0 och CSG-1/90/CRg2.0. Sensorerna har en betydligt kompaktare konstruktion än tidigare CSG-modeller. Varianten CSG-1/90/CRg2.0 har dessutom en sidriktad mätyta. Det gör det möjligt att genomföra precisa spaltmätningar även när det finns mycket begränsat utrymme för sensorn. I samband med lanseringen finns även en uppdaterad capaNCDT-katalog med teknisk information och illustrationer.