Halvledare

Positionering med nanometerprecision i litografimaskiner

För att belysa enskilda komponenter på skivan flyttar de litografiska enheterna skivan till respektive position. Kapacitiva lägesgivare mäter färdvägen för att möjliggöra positionering med nanometerprecision.

Positionering av masker i litografi

För att litografiprocesser skall uppnå maximal precision krävs hög upplösning och långsiktig stabilitet vid mätning av maskinrörelser. Kapacitiva givare med hög upplösning från Micro-Epsilon möjliggör positionering av masker med nanometerprecision. Givarnas konstruktion samt kablarna är anpassade för användning i ultrahögt vakuum.

Recommended sensor technology

capaNCDT 6200

Tjockleksmätning av kiselplattor

Kapacitiva givare används för noggrann tjockleksmätning av kiselplattor Två motsatta givare detekterar tjockleken och bestämmer också andra parametrar som avböjning eller sågmärken. Placeringen av plattan i mätgapet kan variera.

Kontakt
MICRO-EPSILON SENSOTEST AB

+46 856 473 380

Skicka ett mail

Georgios Mousiadis
Area Manager | Koder 10-19, 60-64, 69-98

+46 856 473 384

Skicka ett mail

Anders Mejlvang
Area Manager | Koder 33-36, 40-59, 65-68

+46 856 473 380

Skicka ett mail

Jakob Geisler
Area Manager | Koder 20-32, 37-39 | Danmark

+46 856 473 380

Skicka ett mail

box-head-newsletter1-800x280
Prenumerera på vårt nyhetsbrev
Prenumerera på vårt nyhetsbrev

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
Badvägen 14
21854 Klagshamn, Sweden
jakob.geisler@micro-epsilon.se
+46 856 473 380
+46 856 473 389