Halvledare
Mätuppgifter i halvledarindustrin kräver högsta noggrannhet och repeterbarhet. Micro-Epsilon erbjuder lösningar för många applikationer från exakt maskinpositionering och waferinspektion till topografiska mätningar.
Positionering med nanometerprecision i litografimaskiner
För att belysa enskilda komponenter på skivan flyttar de litografiska enheterna skivan till respektive position. Kapacitiva lägesgivare mäter färdvägen för att möjliggöra ...
DetaljerDetektion och mätning av ojämnheter på kiselskivor
Konfokalkromatiska lägesgivare från Micro-Epsilon används för att inspektera ojämnheter. Givarna genererar en liten mätpunkt på skivan och kan tack vare den höga ...
DetaljerDimensionell inspektion av kiselgöt
Laserprofilskannrar från Micro-Epsilon används för att inspektera geometrin hos kiselgöt. Skanrarna detekterar kiselstavarnas fullständiga geometri. Detta möjliggör ...
DetaljerBöjning och varp av skivor
Konfokalkromatiska givare skannar ytan på skivan för att upptäcka böjning, varp och distorsion. Med en mätfrekvens på 70 kHz möjliggör confocalDT-styrenheter mycket ...
Detaljer3D-formmätning av kiselplattor
reflectCONTROL deflektometri system används för att detektera planheten eller planiteten hos 150 mm skivor. Dessa mäter planheten med bara en bild. För detta ändamål ...
DetaljerMätning av transparenta lager och limfog
Konfokalkromatiska givare används för enkelsidiga tjockleksmätningar. Den konfokala mätprincipen möjliggör utvärdering av flera signaler vilket gör det möjligt ...
DetaljerÖvervakning av axiella rörelser hos interna hålsågar
Interna hålsågar används för kapning av kiselgöt. För att uppnå tillförlitlig separering av götet övervakas sågbladet eller hållaren med ...
DetaljerPositionering av masker i litografi
För att litografiprocesser skall uppnå maximal precision krävs hög upplösning och långsiktig stabilitet vid mätning av maskinrörelser. Kapacitiva givare med hög ...
DetaljerDetektion och mätning av sågmärken
För automatisk detektion och mätning av sågmärken används konfokalkromatiska givare från Micro-Epsilon. Styrenhetens snabba funktion för ytkompensation reglerar exponeringscyklerna ...
DetaljerInspektion av orienteringsskårorna på kiselgöt
Göt är ofta försedda med orienteringsskåror vilket är nödvändigt för inriktning av göten. Blå laserskannrar från Micro-Epsilon används för ...
DetaljerPlacera kiselplattor med kapacitiva sensorer
Kapacitiva sensorer används för finpositioneringsuppgifter vid tillverkning av kiselplattorn. Sensorerna mäter position vid olika punkter vilket är särskilt användbart för ...
DetaljerPositionering av linssystem i litografimaskiner
Induktiva lägesivare (virvelström) mäter beröringsfritt linselementens position för att uppnå högsta möjliga bildnoggrannhet. Beroende på linssystem används ...
DetaljerInterferometer med vitt ljus för maskposition inom litografi
Litografiprocesser kräver hög upplösning och långvarig stabil mätning av maskinrörelser för att uppnå maximal precision. Tack vare speciella utvärderingsalgoritmer ...
DetaljerÖvervakning av optiska system med hjälp av vågfrontssensorer
Shack-Hartmann vågfrontssensorer från Optocraft mäter inriktning och bildkvalitet för hela det optiska systemet. Den robusta mätprincipen möjliggör maskinintegration och automatiserade mätsekvenser ...
DetaljerKontroll av sprickor och brott
Konfokalkromatiska givare från Micro-Epsilon används för att upptäcka sprickor och andra defekter på skivan. Tack vare en snabb funktion för ytkompensation kan ytor med ...
DetaljerKontroll av linshållarens lutningsvinkel
Kapacitiva sensorer mäter linsbärarnas lutningsvinkel med nanometernoggrannhet. Tack vare högprecisionsmätning säkerställs en repeterbar projektion. Flera sensorer mäter ...
DetaljerÖvervakning av böjning av trådsågar
Trådsågar används för att skära göt i ett enda steg. Eftersom tråden utsätts för kraftigt slitage övervakas trådbädden vid flera punkter ...
DetaljerMätning av skivtjocklek/TTV
Konfokalkromatiska givare mäter tjockleksavvikelsen eller tjockleken på skivan från båda sidor. Baserat på skivans tjockleksprofil kan böjning och skevhet av skivan detekteras. ...
DetaljerLutningsvinkelmätning av kiselplattor
Kiselplattans exakta position spelar en viktig roll vid hantering av plattorna. Under inmatningen av plattor mäter interferometrar med vitt ljus den vågräta lutningsvinkeln. Två interferometrar ...
DetaljerÖvervakning av linsens inriktning med hjälp av konfokalkromatiska sensorer
Konfokalkromatiska sensorer används för att mäta linsens inriktning. Flera sensorer mäter direkt på linsen för att detektera lutningsvinkeln till nanometernoggrannhet. Till ...
DetaljerPlacera kiselplattor med hjälp av interferometrar med vitt ljus
InterferoMETER IMS5600 med vitt ljus från Micro-Epsilon används för lägesövervakning av kiselplattor. Den mäter stegets XYZ-rörelser med extremt höga accelerationer. ...
DetaljerPosition av kiselplatta
Beröringsfria givare från Micro-Epsilon används för positionsövervakning av kiselplattor där de mäter mycket dynamiska XYZ-rörelser som accelererar mycket snabbt. ...
DetaljerBestämma positionen vid hantering av kiselplattor
När kiselplattor hanteras är exakt och repeterbar positionering avgörande. Vid inmatning av skivor inspekterar två optoCONTROL-lasermikrometrar diametern och bestämmer därmed ...
DetaljerTjockleksmätning av kiselplattor
Kapacitiva givare används för noggrann tjockleksmätning av kiselplattor Två motsatta givare detekterar tjockleken och bestämmer också andra parametrar som avböjning ...
Detaljer