Halvledare

Tjockleksmätning av kiselplattor

Kapacitiva givare används för noggrann tjockleksmätning av kiselplattor Två motsatta givare detekterar tjockleken och bestämmer också andra parametrar som avböjning ...

Detaljer

Böjning och varp av skivor

Konfokalkromatiska givare skannar ytan på skivan för att upptäcka böjning, varp och distorsion. Med en mätfrekvens på 70 kHz möjliggör confocalDT-styrenheter mycket ...

Detaljer

Detektion och mätning av sågmärken

För automatisk detektion och mätning av sågmärken används konfokalkromatiska givare från Micro-Epsilon. Styrenhetens snabba funktion för ytkompensation reglerar exponeringscyklerna ...

Detaljer

Detektion och mätning av ojämnheter på kiselskivor

Konfokalkromatiska lägesgivare från Micro-Epsilon används för att inspektera ojämnheter. Givarna genererar en liten mätpunkt på skivan och kan tack vare den höga ...

Detaljer

Mätning av transparenta lager och limfog

Konfokalkromatiska givare används för enkelsidiga tjockleksmätningar. Den konfokala mätprincipen möjliggör utvärdering av flera signaler vilket gör det möjligt ...

Detaljer

Mätning av skivtjocklek/TTV

Konfokalkromatiska givare mäter tjockleksavvikelsen eller tjockleken på skivan från båda sidor. Baserat på skivans tjockleksprofil kan böjning och skevhet av skivan detekteras. ...

Detaljer

Kontroll av sprickor och brott

Konfokalkromatiska givare från Micro-Epsilon används för att upptäcka sprickor och andra defekter på skivan. Tack vare en snabb funktion för ytkompensation kan ytor med ...

Detaljer

Positionering av linssystem i litografimaskiner

Induktiva lägesivare (virvelström) mäter beröringsfritt linselementens position för att uppnå högsta möjliga bildnoggrannhet. Beroende på linssystem används ...

Detaljer

Position av kiselplatta

Beröringsfria givare från Micro-Epsilon används för positionsövervakning av kiselplattor där de mäter mycket dynamiska XYZ-rörelser som accelererar mycket snabbt. ...

Detaljer

Positionering med nanometerprecision i litografimaskiner

För att belysa enskilda komponenter på skivan flyttar de litografiska enheterna skivan till respektive position. Kapacitiva lägesgivare mäter färdvägen för att möjliggöra ...

Detaljer

Positionering av masker i litografi

För att litografiprocesser skall uppnå maximal precision krävs hög upplösning och långsiktig stabilitet vid mätning av maskinrörelser. Kapacitiva givare med hög ...

Detaljer
Kontakt
MICRO-EPSILON SENSOTEST AB

+46 856 473 380

Skicka ett mail

Georgios Mousiadis

Area Manager | Koder 10-19, 60-64, 69-98

+46 856 473 384

Skicka ett mail

Anders Mejlvang

Area Manager | Koder 33-36, 40-59, 65-68

+46 856 473 380

Skicka ett mail

Jakob Geisler

Area Manager | Koder 20-32, 37-39 | Danmark

+46 856 473 380

Skicka ett mail

box-head-newsletter1-800x280
Prenumerera på vårt nyhetsbrev
Prenumerera på vårt nyhetsbrev

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
Badvägen 14
21854 Klagshamn, Sweden
jakob.geisler@micro-epsilon.se
+46 856 473 380
+46 856 473 389