Halvledare

Positionering med nanometerprecision i litografimaskiner

För att belysa enskilda komponenter på skivan flyttar de litografiska enheterna skivan till respektive position. Kapacitiva lägesgivare mäter färdvägen för att möjliggöra positionering med nanometerprecision.

Positionering av masker i litografi

För att litografiprocesser skall uppnå maximal precision krävs hög upplösning och långsiktig stabilitet vid mätning av maskinrörelser. Kapacitiva givare med hög upplösning från Micro-Epsilon möjliggör positionering av masker med nanometerprecision. Givarnas konstruktion samt kablarna är anpassade för användning i ultrahögt vakuum.

Recommended sensor technology

capaNCDT 6200

Tjockleksmätning av kiselplattor

Kapacitiva givare används för noggrann tjockleksmätning av kiselplattor Två motsatta givare detekterar tjockleken och bestämmer också andra parametrar som avböjning eller sågmärken. Placeringen av plattan i mätgapet kan variera.

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
Girovägen 13
17562 Järfälla
info@micro-epsilon.se
+46 / 8564 / 733-80
+46 / 8564 / 733-89