Halvledare

Mätuppgifter i halvledarindustrin kräver högsta noggrannhet och repeterbarhet. Micro-Epsilon erbjuder lösningar för många applikationer från exakt maskinpositionering och waferinspektion till topografiska mätningar.

Checking the tilt angle of lens carriers

Capacitive displacement sensors measure the tilt angle of lens carriers to nanometer accuracy. Thanks to the high-precision measurement, a repeatable projection is ensured. Several sensors measure onto ...

Detaljer

Monitoring the alignment of lenses using confocal chromatic sensors

Confocal chromatic sensors are used to measure the alignment of the lens. Several sensors measure directly on the lens to detect the tilt angle to nanometer accuracy. Unlike electromagnetic sensors, confocal ...

Detaljer

3D shape measurement of wafers

reflectCONTROL deflectometry systems are used to detect the flatness or planarity of 150 mm wafers. These measure the flatness with only one image. For this purpose, the sensors project a striped ...

Detaljer

Positioning the wafer stage using capacitive sensors

Capacitive displacement sensors are used for fine positioning tasks in the wafer stage. These sensors measure the position of the stage at various points, which is particularly useful for fine alignment. ...

Detaljer

Tilt angle measurement of wafers

The exact position of the wafer plays an important role in wafer handling. During the infeed of wafers, white light interferometers measure the horizontal tilt angle of wafers. Two interferometers ...

Detaljer

Determining the position during wafer handling

When handling wafers, exact and repeatable positioning is crucial. During the infeed of wafers, two optoCONTROL laser micrometers inspect the diameter and thus determine the horizontal position. Thanks ...

Detaljer

Monitoring optical systems using wavefront sensors

Shack-Hartmann wavefront sensors from Optocraft measure the alignment state and the imaging quality of the entire optical system. The robust measuring principle allows machine integration and automated ...

Detaljer

Dimensional inspection of silicon ingots

Laser profile scanners from Micro-Epsilon are used to inspect the geometry of silicon ingots. These detect the complete geometry of the silicon rods. This allows geometrical deviations of the silicon block ...

Detaljer

Inspection of the orientation notches on silicon ingots

Ingots are often provided with orientation notches, which are necessary for the alignment of the ingots. Blue laser scanners from Micro-Epsilon are used to inspect the profile of the notches for dimensional ...

Detaljer

Monitoring the deflection of wire saws

Wire saws are used to cut ingots in only one step. Since the wire is subject to strong wear, the wire bed is monitored at several points using non-contact eddy current sensors. These not only detect the ...

Detaljer

Monitoring the axial movement of internal hole saws

Internal hole saws are used for cutting silicon ingots. In order to achieve reliable separation of the ingot, the saw blade or holder is monitored using eddy current sensors. Four sensors measure the distance ...

Detaljer

Tjockleksmätning av kiselplattor

Kapacitiva givare används för noggrann tjockleksmätning av kiselplattor Två motsatta givare detekterar tjockleken och bestämmer också andra parametrar som avböjning ...

Detaljer

Detektion och mätning av ojämnheter på kiselskivor

Konfokalkromatiska lägesgivare från Micro-Epsilon används för att inspektera ojämnheter. Givarna genererar en liten mätpunkt på skivan och kan tack vare den höga ...

Detaljer

Böjning och varp av skivor

Konfokalkromatiska givare skannar ytan på skivan för att upptäcka böjning, varp och distorsion. Med en mätfrekvens på 70 kHz möjliggör confocalDT-styrenheter mycket ...

Detaljer

Detektion och mätning av sågmärken

För automatisk detektion och mätning av sågmärken används konfokalkromatiska givare från Micro-Epsilon. Styrenhetens snabba funktion för ytkompensation reglerar exponeringscyklerna ...

Detaljer

Kontroll av sprickor och brott

Konfokalkromatiska givare från Micro-Epsilon används för att upptäcka sprickor och andra defekter på skivan. Tack vare en snabb funktion för ytkompensation kan ytor med ...

Detaljer

Mätning av transparenta lager och limfog

Konfokalkromatiska givare används för enkelsidiga tjockleksmätningar. Den konfokala mätprincipen möjliggör utvärdering av flera signaler vilket gör det möjligt ...

Detaljer

Mätning av skivtjocklek/TTV

Konfokalkromatiska givare mäter tjockleksavvikelsen eller tjockleken på skivan från båda sidor. Baserat på skivans tjockleksprofil kan böjning och skevhet av skivan detekteras. ...

Detaljer

Positionering av linssystem i litografimaskiner

Induktiva lägesivare (virvelström) mäter beröringsfritt linselementens position för att uppnå högsta möjliga bildnoggrannhet. Beroende på linssystem används ...

Detaljer

Position av kiselplatta

Beröringsfria givare från Micro-Epsilon används för positionsövervakning av kiselplattor där de mäter mycket dynamiska XYZ-rörelser som accelererar mycket snabbt. ...

Detaljer

Positioning the wafer stage using white light interferometers

The white light interferoMETER IMS5600 from Micro-Epsilon is used for position monitoring of the wafer stage. It measures the XYZ movements of the stage with extremely high accelerations. The high-precision ...

Detaljer

Positionering med nanometerprecision i litografimaskiner

För att belysa enskilda komponenter på skivan flyttar de litografiska enheterna skivan till respektive position. Kapacitiva lägesgivare mäter färdvägen för att möjliggöra ...

Detaljer

Positionering av masker i litografi

För att litografiprocesser skall uppnå maximal precision krävs hög upplösning och långsiktig stabilitet vid mätning av maskinrörelser. Kapacitiva givare med hög ...

Detaljer

White light interferometer for mask positioning in lithography

Lithography processes require high resolution and long-term stable measurement of machine movements in order to achieve maximum precision. Thanks to special evaluation algorithms and active temperature ...

Detaljer

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
jakob.geisler@micro-epsilon.se
+46 8 564 733 80