Halvledare

Mätuppgifter i halvledarindustrin kräver högsta noggrannhet och repeterbarhet. Micro-Epsilon erbjuder lösningar för många applikationer från exakt maskinpositionering och waferinspektion till topografiska mätningar.

Positionering med nanometerprecision i litografimaskiner

För att belysa enskilda komponenter på skivan flyttar de litografiska enheterna skivan till respektive position. Kapacitiva lägesgivare mäter färdvägen för att möjliggöra ...

Detaljer

Placera kiselplattor med hjälp av interferometrar med vitt ljus

InterferoMETER IMS5600 med vitt ljus från Micro-Epsilon används för lägesövervakning av kiselplattor. Den mäter stegets XYZ-rörelser med extremt höga accelerationer. ...

Detaljer

Dimensionell inspektion av kiselgöt

Laserprofilskannrar från Micro-Epsilon används för att inspektera geometrin hos kiselgöt. Skanrarna detekterar kiselstavarnas fullständiga geometri. Detta möjliggör ...

Detaljer

Böjning och varp av skivor

Konfokalkromatiska givare skannar ytan på skivan för att upptäcka böjning, varp och distorsion. Med en mätfrekvens på 70 kHz möjliggör confocalDT-styrenheter mycket ...

Detaljer

3D shape measurement of wafers

reflectCONTROL deflectometry systems are used to detect the flatness or planarity of 150 mm wafers. These measure the flatness with only one image. For this purpose, the sensors project a striped ...

Detaljer

Detektion och mätning av ojämnheter på kiselskivor

Konfokalkromatiska lägesgivare från Micro-Epsilon används för att inspektera ojämnheter. Givarna genererar en liten mätpunkt på skivan och kan tack vare den höga ...

Detaljer

Bestämma positionen vid hantering av kiselplattor

När kiselplattor hanteras är exakt och repeterbar positionering avgörande. Vid inmatning av skivor inspekterar två optoCONTROL-lasermikrometrar diametern och bestämmer därmed ...

Detaljer

Positionering av masker i litografi

För att litografiprocesser skall uppnå maximal precision krävs hög upplösning och långsiktig stabilitet vid mätning av maskinrörelser. Kapacitiva givare med hög ...

Detaljer

Detektion och mätning av sågmärken

För automatisk detektion och mätning av sågmärken används konfokalkromatiska givare från Micro-Epsilon. Styrenhetens snabba funktion för ytkompensation reglerar exponeringscyklerna ...

Detaljer

Mätning av transparenta lager och limfog

Konfokalkromatiska givare används för enkelsidiga tjockleksmätningar. Den konfokala mätprincipen möjliggör utvärdering av flera signaler vilket gör det möjligt ...

Detaljer

Placera kiselplattor med kapacitiva sensorer

Kapacitiva sensorer används för finpositioneringsuppgifter vid tillverkning av kiselplattorn. Sensorerna mäter position vid olika punkter vilket är särskilt användbart för ...

Detaljer

Positionering av linssystem i litografimaskiner

Induktiva lägesivare (virvelström) mäter beröringsfritt linselementens position för att uppnå högsta möjliga bildnoggrannhet. Beroende på linssystem används ...

Detaljer

Interferometer med vitt ljus för maskposition inom litografi

Litografiprocesser kräver hög upplösning och långvarig stabil mätning av maskinrörelser för att uppnå maximal precision. Tack vare speciella utvärderingsalgoritmer ...

Detaljer

Position av kiselplatta

Beröringsfria givare från Micro-Epsilon används för positionsövervakning av kiselplattor där de mäter mycket dynamiska XYZ-rörelser som accelererar mycket snabbt. ...

Detaljer

Kontroll av sprickor och brott

Konfokalkromatiska givare från Micro-Epsilon används för att upptäcka sprickor och andra defekter på skivan. Tack vare en snabb funktion för ytkompensation kan ytor med ...

Detaljer

Kontroll av linshållarens lutningsvinkel

Kapacitiva sensorer mäter linsbärarnas lutningsvinkel med nanometernoggrannhet. Tack vare högprecisionsmätning säkerställs en repeterbar projektion. Flera sensorer mäter ...

Detaljer

Övervakning av linsens inriktning med hjälp av konfokalkromatiska sensorer

Konfokalkromatiska sensorer används för att mäta linsens inriktning. Flera sensorer mäter direkt på linsen för att detektera lutningsvinkeln till nanometernoggrannhet. Till ...

Detaljer

Inspektion av orienteringsskårorna på kiselgöt

Göt är ofta försedda med orienteringsskåror vilket är nödvändigt för inriktning av göten. Blå laserskannrar från Micro-Epsilon används för ...

Detaljer

Lutningsvinkelmätning av kiselplattor

Kiselplattans exakta position spelar en viktig roll vid hantering av plattorna. Under inmatningen av plattor mäter interferometrar med vitt ljus den vågräta lutningsvinkeln. Två interferometrar ...

Detaljer

Övervakning av axiella rörelser hos interna hålsågar

Interna hålsågar används för kapning av kiselgöt. För att uppnå tillförlitlig separering av götet övervakas sågbladet eller hållaren med ...

Detaljer

Övervakning av böjning av trådsågar

Trådsågar används för att skära göt i ett enda steg. Eftersom tråden utsätts för kraftigt slitage övervakas trådbädden vid flera punkter ...

Detaljer

Monitoring optical systems using wavefront sensors

Shack-Hartmann wavefront sensors from Optocraft measure the alignment state and the imaging quality of the entire optical system. The robust measuring principle allows machine integration and automated ...

Detaljer

Mätning av skivtjocklek/TTV

Konfokalkromatiska givare mäter tjockleksavvikelsen eller tjockleken på skivan från båda sidor. Baserat på skivans tjockleksprofil kan böjning och skevhet av skivan detekteras. ...

Detaljer

Tjockleksmätning av kiselplattor

Kapacitiva givare används för noggrann tjockleksmätning av kiselplattor Två motsatta givare detekterar tjockleken och bestämmer också andra parametrar som avböjning ...

Detaljer

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
jakob.geisler@micro-epsilon.se
+46 8 564 733 80