Mätuppgifter i halvledarindustrin kräver högsta noggrannhet och repeterbarhet. Micro-Epsilon erbjuder lösningar för många applikationer från exakt maskinpositionering och waferinspektion till topografiska mätningar.
Hybrid Bonding är en avancerad förbindningsteknik inom halvledartillverkning där två wafers eller chips (dies) kopplas direkt via kontaktytor av koppar. På så sätt behövs inga traditionella lödbollar. Vid modern Die-to-Wafer (D2W) eller…
reflectCONTROL deflektometri system används för att detektera planheten eller planiteten hos 150 mm skivor. Dessa mäter planheten med bara en bild. För detta ändamål projicerar sensorerna ett randigt mönster på skivan, som spelas in av de…
Capacitive displacement sensors are used for the exact thickness measurement of wafers. Two opposing sensors detect the thickness and also determine other parameters such as deflection or sawing marks. The position of the wafer in the measuring…
Laserprofilskannrar från Micro-Epsilon används för att inspektera geometrin hos kiselgöt. Skanrarna detekterar kiselstavarnas fullständiga geometri. Detta möjliggör bestämning av geometriska avvikelser hos kiselblocket före separering. Göt är…
Konfokalkromatiska givare skannar ytan på skivan för att upptäcka böjning, varp och distorsion. Med en hög mätfrekvens möjliggör confocalDT controllers mycket dynamiska mätningar, vilket gör att skivan kan inspekteras inom korta cykeltider. …
För automatisk detektion och mätning av sågmärken används konfokalkromatiska givare från Micro-Epsilon. Styrenhetens snabba funktion för ytkompensation reglerar exponeringscyklerna för att uppnå maximal signalstabilitet på ytor med olika…
Konfokalkromatiska lägesgivare från Micro-Epsilon används för att inspektera ojämnheter. Givarna genererar en liten mätpunkt på skivan och kan tack vare den höga upplösningen detektera de minsta delarna och strukturerna. Därför fastställs…
När kiselplattor hanteras är exakt och repeterbar positionering avgörande. Vid inmatning av skivor inspekterar två optoCONTROL-lasermikrometrar diametern och bestämmer därmed den horisontella positionen. Tack vare hög mäthastighet och noggrannhet…
För att litografiprocesser skall uppnå maximal precision krävs hög upplösning och långsiktig stabilitet vid mätning av maskinrörelser. Kapacitiva givare med hög upplösning från Micro-Epsilon möjliggör positionering av masker med…
Litografiprocesser kräver hög upplösning och långvarig stabil mätning av maskinrörelser för att uppnå maximal precision. Tack vare speciella utvärderingsalgoritmer och aktiv temperaturkompensering möjliggör IMS5400 interferometer med vitt ljus…
Konfokalkromatiska givare används för enkelsidiga tjockleksmätningar. Den konfokala mätprincipen möjliggör utvärdering av flera signaler vilket gör det möjligt att bestämma tjockleken på transparenta material. Med multipeak-funktionen bestämmer…
Kapacitiva sensorer används för finpositioneringsuppgifter vid tillverkning av kiselplattorn. Sensorerna mäter position vid olika punkter vilket är särskilt användbart för finjustering. Tack vare sin triaxiella design är sensorerna okänsliga för…
Induktiva lägesivare (virvelström) mäter beröringsfritt linselementens position för att uppnå högsta möjliga bildnoggrannhet. Beroende på linssystem används lägesgivare från Micro-Epsilon för att detektera rörelse och position i upp till 6…
För att belysa enskilda komponenter på skivan flyttar de litografiska enheterna skivan till respektive position. Kapacitiva lägesgivare mäter färdvägen för att möjliggöra positionering med nanometerprecision. …
Beröringsfria givare från Micro-Epsilon används för positionsövervakning av kiselplattor där de mäter mycket dynamiska XYZ-rörelser som accelererar mycket snabbt. Kapacitiva och induktiva givare (virvelström) uppnår nanometerupplösning för att…
InterferoMETER IMS5600 med vitt ljus från Micro-Epsilon används för lägesövervakning av kiselplattor. Den mäter stegets XYZ-rörelser med extremt höga accelerationer. Det optiska mätsystemet med hög precision uppnår en upplösning inom…
Kapacitiva sensorer mäter linsbärarnas lutningsvinkel med nanometernoggrannhet. Tack vare högprecisionsmätning säkerställs en repeterbar projektion. Flera sensorer mäter på bäraren av metall. Den extremt höga upplösningen möjliggör exakt…
Konfokalkromatiska sensorer används för att mäta linsens inriktning. Flera sensorer mäter direkt på linsen för att detektera lutningsvinkeln till nanometernoggrannhet. Till skillnad från elektromagnetiska sensorer mäter konfokala kromatiska…
Göt är ofta försedda med orienteringsskåror vilket är nödvändigt för inriktning av göten. Blå laserskannrar från Micro-Epsilon används för att inspektera skårornas profil gällande dimensionell noggrannhet och detekterar skårprofilen med hög…
Konfokalkromatiska givare från Micro-Epsilon används för att upptäcka sprickor och andra defekter på skivan. Tack vare en snabb funktion för ytkompensation kan ytor med olika reflektionsegenskaper kontrolleras tillförlitligt. En extremt liten…
Interna hålsågar används för kapning av kiselgöt. För att uppnå tillförlitlig separering av götet övervakas sågbladet eller hållaren med virvelströmsensorer. Fyra sensorer mäter beröringsfritt avståndet till sågens stöd. Tack vare det höga…
Trådsågar används för att skära göt i ett enda steg. Eftersom tråden utsätts för kraftigt slitage övervakas trådbädden vid flera punkter med hjälp av kontaktfria virvelströmsensorer. Sensorerna detekterar inte bara trådhöjden på styrvalsen utan…
Shack-Hartmann vågfrontssensorer från Optocraft mäter inriktning och bildkvalitet för hela det optiska systemet. Den robusta mätprincipen möjliggör maskinintegration och automatiserade mätsekvenser samt analys och övervakning av laserstrålar i…
Kiselplattans exakta position spelar en viktig roll vid hantering av plattorna. Under inmatningen av plattor mäter interferometrar med vitt ljus den vågräta lutningsvinkeln. Två interferometrar mäter på plattan Vitljusinterferometrar från…
Konfokalkromatiska givare mäter tjockleksavvikelsen eller tjockleken på skivan från båda sidor. Baserat på skivans tjockleksprofil kan böjning och skevhet av skivan detekteras. Hög mätfrekvens möjliggör tjockleksdetektering av hela skivan under…
